УСТРОЙСТВО для ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФЕРРИТОВЫХ ПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ПАМЯТИ Советский патент 1969 года по МПК G11C11/14 

Изобретение отиоситея к области запоминающих устройств и может найти применение для получения феррнтовых пленочных элементов ламяти, используемых в запом11нающих устройствах ЭВМ.

Известно устройство для изготовления ферритовых пленочных элементов памяти с помощью дугового разряда в вакууме. Оно содержит катод из исходного материала-феррита, закрепленный в керамическом держателе, и молибденовый стержень, служащий анодом. Для создания дуги молибденовый электрод приводится в соприкосновение с катодом, напыляемым ферритом, а затем отодвигается на несколько сантиметров от иоверхпости феррита. Источник постоянного тока для дугового разряда должен обладать стабпльностью не

хуже 0,lVoЦель изобретения - повыщение скорости испарения и получение пленок с улучшенными магннтными свойствами и однородностью.

Описываемое устройство отличается тем, что содержит систему нагревателей для предварительного нагрева феррита и последующего его испарения токами высокой частоты, а также для нагрева подложки, что обеспечивает равномерность осаждения, эиитаксиальный рост и снятие механических напряжений. Нагреватель подложки является ее же держателем и может перемещаться по направляющим щтангам в область нидуктора.

На чертеже изображена конструкиия устройства.

ycTpoiicTBO содержит электрический нагреватель (печь) / для предварительного нагрева феррита, исходную ферритовую пластииу 2, высокочастотный индуктор 3, подложку

4для осаждения пленки, нагреватель 5 подложки (печь), вакуумный колпак 6 и основание 7.

На электрически нагреватель /, , илоскоГ формы помещена сходная ферр товая 1ласт1 на 2. В электрнческом нагревателе

5В1лполнен паз, в котором помещена подложка 4, , из мо1 окр сталл 1ческого . Нагреватель 5 закреплен на штангах 8 на тpeбye i0.м расстоянии от пластины 2. Штанг 8, выполненнь е из токопроподящего aтepиaлa, одновременно вынолня от фуикН П подвода тока к 1агревателю 5. Высокочастотны индуктор 3 eeт Д Л Ндрнческу О . Пластина 2 пол ещена внутр индуктора 3.

Вся система нагревателей вместе с исходной пластиной 2 подложкой 4 помещена под вакуу, колпак 6, а через основанне 7 пропущены выводы нагревателей. Через отверст 1е в основании отсос воздуха.

Устройство работает следующим образом.

Ферритовая пластина 2 нагревается нагревателем / до 300-400°С, а затем подвергается нагреву токами высокой частоты до 1000°С при разрежении под колпаком 0,5 тор. Подложки из монокристаллического MgO нагреваются до 400°С. При этом были получены пленки толщиной «s 50 мкм в течение 1,-2 мин.

Характеристики пленок (коэрцитивная сила Hf. 2э, остаточная индукция 5ч 1300 гс, ирямоугольность /(,9) обеспечивают создание миниатюрных элементов памяти.

4 Предмет изобретения

Устройство для изготовления ферритовых пленочных элементов памяти, содержащее

акуумный колпак с основанием, держатель и подложку для Осаждения иленки, отличающееся тем, что, с целью повышения скорости испарения и получения пленок с улучшенными магнитными свойствами и однородностью,

оно содержит систему нагревателей, состоящую из печи для предварительного нагрева феррита, высокочастотного индуктора для испарения феррита токами высокой частоты и печи для нагрева подложки.