СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФЕРРИТОВЫХ ПЛЕНОЧИЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ПАМЯТИ Советский патент 1969 года по МПК G11C11/14 

Изобретение относится к области запоминающих устройств и может быть исиользовано при изготовлении интегральных ферритовых пленочных элементов памяти для запоминающих устройств.

Известен способ изготовления ферритовых пленок с помощью дугового р.азряда, состоящий в том, что феррит плавят и испаряют с помощью дугового разряда. Катод из ферритовой пластины закрепляют в керамическом держателе, анодом служит молибденовый стержень. Источником постоянного тока, который должен обладать стабильностью не хуже 0,1%, создается дуговой разряд. При этом в ферритовой пластине образуется лунка, в которой содержатся испаряющийся расплавленный феррит.

К числу недостатков этого способа следует отнести неравномерность испарения вследствие колебания тока в дуговом разряде, приводящую к неоднородности пленки; появление примесей; испарение в очень маленькой лунке, а не с поверхности пластины, что ухудшает свойства пленок, вызывает малую скорость роста и неоднородность пленок.

При предложенном способе все перечисленные недостатки исключены. Способ заключается в том, что источник феррита нагревают до температуры, при которой возрастает электропроводность феррита, например до 300-400°С,

после чего источник феррита нагревают токами высокой частоты.

Способ поясняется чертежом.

Источник феррита в виде ферритовой пластины 1 нагревают электрическим нагревателем 2 до температуры примерно 300-400°С. При этом электропроводность феррита значительно возрастает. Дальнейший нагрев и испарение производят токами высокой частоты с помощью высокочастотного нагревателя 3. При этом ферритовая пластина равномерно разогревается, и феррит испаряется на подложку 4, закрепленную держателем 5.

Полученную пленку подвергают последующей термообработке в печи, например при 1000°С в течение 1 час.

Применение способа испарения феррита за счет увеличения его теплопроводности позволяет повысить скорость испарения с поверхности всей пластины, увеличить однородность получения пленки, исключает появление примесей и обеспечивает более стационарный рост пленок.

25

Предмет изобретения

однородных магнитных пленок, улучшения их магнитных свойств, повышения скорости испарения и устранения примесей, нагревают источник феррита электрическим нагревателем

до температуры, при которой возрастает электропроводность феррита, например до 300- 400°С, и подвергают источник феррита нагреву токами высокой частоты.

х

/г

. Ннооху