СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК Советский патент 1969 года по МПК C23C14/36 C23C14/06 

Известен способ иолучения тонких иленок путем катодного распыления с использованием многокомпонентного, например мозаичного, катода из набора пластинок распыляемы.х веществ.

К недостаткам этого способа относятся неоднородность химического состава пленок, трудность регулирования состава, а также слолсность изготовления мозаичного катода.

Предложенный способ позволяет получать пленки, однородные по химическому составу, и легко регулировать их состав. Он отличается тем, что в качестве многокомпонентного катода иснользуют порошкообразную смесь распыляемых веществ.

Способ состоит в том, что тонкие пленки получают путем катодного распыления с использованием в качестве многокомпонентного катода порошкообразной смеси распыляемых веществ.

Для изготовления пленок порошки распыляемых веществ смешивают в необходимой концентрации и нолученную смесь насыпают тонким слоем (2-5 мм) на проводящую подложку, после чего осуществляют катодное распыление. Состав смеси необходимо регулировать в соответствии со скоростями распыления компонентов.

При использовании катодов с большой площадью возможно осаждение слоев нокрытия на больших поверхностях.

Предмет изобретения

Способ иолучения тонких пленок путем катодного распыления с использованием многокомпонентного катода, отличающийся тем, что, с целью получения однородных по химическому составу пленок, в качестве многокомпонентного катода используют порошкообразную смесь распыляемых веществ.