ПАТГИГ-О. ,^^ ГЕХнич?с;;л$] ^^-БИБЛнОГЕКА Советский патент 1969 года по МПК C30B15/32 

Устройство относится к области производства полупроводниковых материалов и может быть использовано, например, в установках, осуществляющих зонную перекристаллизацию или вытягивание монокристаллов из расплава по методу Чохральского.

В полупроводниковой промышленности применяются установки для производства полупроводниковых материалов, например, типа «Кристалл.

Известное устройство для фиксации слитка представляет собой два вертикально расположенных цилиндрических щтока, нижний из которых имеет конусную верхнюю часть, на которую надевается через графитовую втулку цанговый зажим. Конусная графитовая втулка, установленная между штоком и цанговым зажимом, предназначена для нроскальзывания цангового зажима при «подморал ивании зоны, предотвращая этим поломку затравки.

Цанговый зажим, будучи надет на шток, значительно превышает его диаметр, что не дает возможности полностью использовать производительность установки, так как патроны упираются в днище вакуумной камеры, не позволяя штокам перемещаться на полную длину рабочего хода. Кроме того, узел проскальзывания существующего устройства недостаточно надежен в работе, так как происходит заклинивание узла или пригорание графитовой втулки к штоку и цанговому зажиму.

что при «подморал ;ивакни зоны ылечет за собой поломку затравки.

В предложенном устройстве для повышения надежности работы узел проскальзывания выполнен в виде втулки с размещенными внутри нее подшипниками качения, вмонтированной в углубление торцовой части несущего штока. Подшинники надеты на палец, являющийся продолжением корпуса цангового зажима.

На чертеже показано устройство для фиксирования слитка.

Устройство представляет собой водоохлаждаемый шток 1, имеющий в торцовой части цилиндрическое углубление с нарезанной внутренней резьбой, куда ввернута втулка 2 с размещенными внутри нее двумя подшипниками 3 Н 4, разделенными упорной шайбой 5. На подшипниках закреплен корпус 6 цангового зажима с помощью резьбового пальца, являющегося его продолжением. Корпус 6 имеет цилиндрическое резьбовое углубление, аналогичное углублению в штоке /; куда ввернута обойма 7 цангового зажима с внутренним конусом, в объеме которого расположены сухари 8. Втулка 2, корпус 6 и обойма 7 имеют лыски под ключ.

Устройство работает следующим образом.

зажиме верхнего штока. В цанговом зажиме нижнего штока таким же образом закренляется затравка, которая затем сплавляется со слитком. Во время перекристализации слитка, например, зонной плавкой верхний и нижний штоки вращаются в нротивоноложных нанразлениях с целью интенсивного перемешивания расплавленной зоны. При этом ввиду того, что сопротивление вращению подщипников 3 и 4 больше, чем сопротивление разрыву пленки поверхностного натяжения расплавленного металла, проворачивания подщипников не происходит. Если происходит «подмораживание зоны, т. 6. когда из-за недостаточной мощности подогрева металл из жидкого состояния переходит в твердое, перемешивание зоны прекращается, а верхняя часть слитка совместно с корпусом 6 цангового зажима

приводится во вращение нижним штоком, проворачивая подшипники. По окончании плавки цанговые зажимы поочередно разжимают, и слиток извлекается.

Предмет изобретения

Устройство для фиксации слитка к установкам, производящим полупроводниковые материалы, содержащее подающий щток, узел проскальзывания, цанговый зажим, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы, узел нроскальзывания вмонтирован в углубление торцовой части несущего штока и

выполнен в виде втулки с размещенными внутри нее подшипниками качения, надетыми на палец, являющийся продолжением корпуса цангового зажима.

Z -3

-Ц

6