ШАГОВЫЙ ПРИВОД Советский патент 1970 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к оборудованию, применяемo: iy для изготовления полупровод«иковых приборов и интегральных схем.

Известный электромеханический привод, .содержащий электродвигатель, электромагнитную 1Муфту с тормозом, ходовой 1ВИНТ с гайкой, рабочий стол, электронный блок управления с программным устройством и датчик углового положения ходового (винта в виде диска с отвер стиями, фотодиода и источника света, не обеспечивает высокой точности шаговых перемещений рабочего стола, еследст1вие инерционности программлого и исполнительного устройств.

Также известны приводы прерывистото движения, содержащие электродвигатель, однооборотную муфту, червячиую пару, рабочий стол, командно-распределительное устройство и фиксатор стола. Однако этот привод также не обеспечивает требуемой точности шаговых Перемещений из-за наличия зазоров в соединения х муфты.

С целью повышения точности шаговых перемещений в предлагаемом приводе на наружной поверхности ведомой полумуфты выполнены фиксирующие выступы, взаимодействующие с управляемым от програ-ммного устройства рычагом т определяющие заданное 1полол ение ходового винта. высту- . пам«. образующими паз, расположен гаодпружиненный палец, утопленный в углублении паза и взаимодействующий с ведущей полумуфтой.

На фиг. 1 изображена кинематическая схе5 ма шагового привода; .на фиг. 2 - муфта в общем виде и разрез по А-А.

Универсальный шаговый привод содержит электродвигатель /, шестерни 2-5 редуктора программного устройства, .кулачок 6, рычат 7,

0 приводимый в действие 8, муфту 9, установленную между электродвигателем 1 и ходовьш вннтом 10, гайку 11 п рабочий стол 12. Муфта 9 состоит из ведущей полумуфты 13, на которой выполнены упоры 14, и

5 ведомой полумуфты 15, имеющей выступы 16, образующие 17. В углублении паза раопололсен под1прул и,ненный палец 18.

от электродвигателя / через щестерни 2-5 редуктора передается кулачку 6

0 и рычагу 7. Палец 18 иод действием входит в зацепление с упором 14 ведущей иолумуфты 13. Ведомая полумуфта 15 вращается до тех пор, пока рычаг 7 удерживается над ией кулачком 6. Когда один конец рычага 7

5 иопадает во впадину кулачка 6, другой «онец рычага прижимается 8 к ведомой полумуфте 15 и скользит по поверхности до западания в яаз 17, после чего он нажимает

; на палец-/5 и размыкает муфту. Под действиТУ 15 до саприкоойовения фиксирующей части рычага и обеих выстуиов 16 иолумуфты 15. Этим достигается остановка и точная .фиксация рабочего стола в задаином положении. Далее цикл повторяется.

Управлеиие рычагом может осуществляться и другим программным устройством, натример электромагнитом.

Предмет изобретения

Шаговый привод, содержащий электродвигатель, муфту, ходовой винт с гайкой, рабочий

стол и программное устройство для задания величины шага ра:бочего стола, отличающийся тем, что, с целью повышения точности шаговых перемещений стола, на наружной новерхлости ведомой полумуфты вьинолнены фиксирующие вьгступы, взаимодействующие с управляемым от программного устройства рычагом и определяющие заданное полол еНие ходового винта, между которыми раоиоложей подпружиненный палец, утопленный в углублении паза, образованного фиксирующими выступами, и взаимодействующий с ведущей полу муфтой.

/,5

с/г 2