ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК Советский патент 1970 года по МПК C23C14/26 

Изобретепие используется IB ка:мерах вакуумного напыления тонких пленок и различ-ных покрытий.

Известен «оиаритель для вакуумных установок, содержащий цилиндрический тер-морадиационный корпус, в котором расположены перфорированный контейнер для испаряемого, материала и рез-истивный нагреватель.

Одна1ко известпое устройство не обеспечивает достаточной раенамериости конденсата.

Описываемый испаритель позволяет лолучать равномерный конденсат, что особенно важно в сер(ийном производстве, так как можно иметь одновременно большое количество равномерных ,по толщине пленок.

Это достигается тем, что корпус снабжен экрано.м-насадкой, выполненным в виде усеченного конуса с отверстиями на конической ловерхиости.

На чертеже показан оПИсыеаемый нопаритель.

Он включает цилиндрический термораднационный «орлус /, в основанин 2 которого укреплен лерфор;ирова«ный контейнер 3 для испаряемого материала с раоположенньш вокруг «его резистивным нагревателем 4. Корпус 1 оборудова1Н экраном-насадкой 5, изготовленным в виде усеченного конуса с отверстиями на конической поверхности.

При нагреве пары испаряемого вещества заполняют впутренний объем испарителя. Паровой поток после многократных отражений выходит через отверстия в экране-насадке, образуя равномерный конденсат «а поверхности конденсаци1Н. Для тучшей равномерности конденсата рекомендуется использовать зкраннасадку с конической ловерхностью, образующая которой составляет угол в 60° с основаниел конуса.

Предмет изобретения

Ислар итель для вакуумных установок, содержащий цилиндрический терморадиационлый корпус, в основанин которого укреплен

пгрфорироваиный контейнер для испаряемого материала с расположенным вокруг него резистивным нагревателем, отличающийся тем, что, с целью получения равномерного конденсата, корлус снабжен экраном-насадкой, выполнепным в виде усеченного конуса с отверстиями на конл.чеокой поверхности.

..,}

тгч