ПОЛУАВТОМАТ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ Советский патент 1970 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к технике нанесения покрытий на металл распылением и может быть использовано для получения верхнего электрода на селеновых выпрямительных элементах.

Известна установка для нанесения верхнего электрода на селеновые выпрямительные элементы, которая включает в себя металлнзациопный пистолет для распыления расплавленного сплава на поверхность селеновых выпрямительных элементов с помопдью сжатого воздуха, подвешенный в виде маятника на специальной стойке и приводимый в колебательиое движение механическим приводом, транспортер для перемещения карт селеновых выпрямительных элементов, над которым подвешен металлизационный пистолет, тигель для расплавления сплава.

Основным недостатком этой установки является неравномерное нанесение сплава на поверхность селеновых вынрямительных элементов.

Целью изобретения - устраненне указанного недостатка путем создания более современной конструкции устройства для перемен;ения металлизацнонного пистолета, совокупность работы узлов и деталей которого в сочетании с движением транспортера обеспечивает параллельное наложение полос распыляемого

сплава на поверхность селеновых выпрямительных элементов.

Отличие описываемого полуавтомата от известного заключается в применении устройства для неремеш.ения металлизационного пистолета, выполненного в виде установленной на горизонтальных наиравляюш,их и совершающей возвратно-постунательное перемещение каретки с кулачками и содержащего (Связанную с пистолетом кулису с фиксатором, которая кулачками каретки поворачивается в конце каждого хода пистолета, перемещая его перпенднкулярно направлению движения каретки.

На фиг. 1 дана схема описываемого полуавтомата; на фиг. 2 показана схема нанесения снлава, напыляемого на поверхность селеновых выпрямительных элементов нолувтоматом.

Привод металлизационного пистолета состоит из электродвигателя постоянного тока / и редуктора 2, ременной передачи 3, промежуточной цепной передачи 4, цепной передачи 5 с пальцем б . Палец 6 с роликом соединен с направляющим пазом вертикальной стойки 7, которая жестко соединена с кареткой 8. На каретке закренлены четыре кронштейна 9 с роликами для перемещения каретки по горизонтальным направляющим 10, два регулируемых кулачка П, направляющие для установки и перемещения по ним металлизанпопиого пистолета 12. К раме 13 прикреплены направляю1цпе 10 и кулиса 14 с пазом под ролик по всей ее длине. На концах сулисы 14 закреплены два кронштейна 15 с роликами и фиксатор 16. Последний удерживает кулису в определенном горизонтальном положении, laK как кулиеа имеет возможность вращаться вокруг центральной оси, нрккрепленной к раме 13.

Палец 17 с , жеетко прикрепленный к металлизационному пистолету, входит в паз кулисы, чем обеспечивает движение ннстолста перпендикулярно направлению движения каретки.

Металлпзационный нистолет соединен с тиглсм 18 для предварительного расплавления сплава, который закреплен иа раме 13 и соедннеи с пистолетом трубой 19.

Полуавтомат работает следу1ощи:.1 образом.

От электродвигателя через ременную нередачу, редуктор, промежуточную цепную передачу движение передается цепной передаче и через палец, перемеилающ.ийся в направляющих паза вертикальной стойки, на каретку, которая по горизонтальным направляющим coBCpuiaeT иозвратно-посту па тельное движение перпендикулярно направлению движения транспортера перемсигения селеновых элементов. В крайних точках движения каретка кулачками // толкает кронштейны с роликами, вследствие пего кулиса новорачнвается на определенный угол и удерживается в этом положо/нии фиксатором. Так как кулиса соединена ири пальца и с металлизацпонным пиетолетом, он также перемеетится но своим направляющим в каретке параллельно движению транспортера перемещения селеновых

элементов. Далее, двигаясь с кареткой в нротивоположном напрасленин, пистолет ачииаот перемещатьея вдоль транспортера для перемещения селеновых элементов, копируя направление паза кулисы, чем доетигаетея заданный закон движсн 1я л еталлизационного пистолета в виде перекрещиваюнцкхея пря.мых, концы которых соединены прямыми.

Сочетание движения металлизационного нистолета с движением транспортера керемеще1 ня ееленоБых элементов обеснечивает наложение нолое расплавленного сплава параллельно одна другой (см. фиг. 2).

В процессе работы полуавтомата металлизационный пистолет заливают сплавом путем нажатия кнопки включателя, в результате чего раснлавленный снлав из тигля 18 протекает по трубе 19. Заливка ироизводится по мере расхода сплава в камере металлизационного пистолета.

Предмет изобретения

Полуавтомат для нанесения покрытий методом раепылеппя, содержащий металлизациоипый пистолет, устройство для его перемещеиия, транспортер для перемещения подложек, привод, отличающийся тем, что, с целью улучшения равномерности покрытия, устройство для неремещения л;еталлизац 1онного пистолета вынолнено в уетановленной на горлзо1Г1алы1Ь х направляющих и совершающей возвратно-поступательное перемещение каретки с кулачками и содержит связаиную с пиетолетом кулиеу с фиксатором, которая кулачками каретки поворачивается в конце каждого хода пиетолета, перемещая его перпенД11ку ярно нанравлению движения каретки.

/о

./

-Т

LJ

pt г .i