Устройство для выращивания монокристаллов Советский патент 1977 года по МПК B01J17/08 

Известны устройства для выращиван монокристаллов кристешлизацией распл ва в лодочках, включающие кристаллиз ционную камеру.с установленным в ее полости нап евателем, отделенный от мефы вакуумным затвором шлюзовой , расположенный по оси нагревателя, и систему откачки. Опи Я:1еаемое устройство отличается тем, что пишзовой отсек укреплен на )отной каретке, а вакуумный затвор встроен в корпус . Такое выполнение устройства упрощает его конструкцию. На чертеже изображено опи(ялва@4ое устройство, вид.. Устройство имеет кристаллизаадсоиную камеру i, в полости которой устаиовлеи нагреватель 2, шлюзовой отсек 3, расположенный на поворотной каретке 4, и систему откачки 5, соед ненную с К 1мерой и отсеком. отдельными линиями 6 и 7. в корпус камеры встроен вакуумный затвсф В. Лодочку 9 с исходньм материалом п мацают в отсек Ю камеры, после чего в ней создают, заданные темп (атурные условия и давление, выращивание осуществляют перемещением лодочки через кристаллизационную камеру в шлюзовой отсек. Шлизовой отсек отделшот от камеры при псшощи вакуумного затвора и после охлаждения лодочки отсоединяют от камеры. Лодочку с выращенным монокристаллом извлекгиот из отсека, в отсек устанавливают другую лодочку и после создания в отсеке давления, соответствующего давлению в кристаллизационной камере, процесс выращивания повторяют.. Устройство позволяет выращивать серии монокристаллов в воспроизводиVUXX. условиях. Формула изЬвретения Устройство для выращквания монокристаллов кристаллизацией расплава в лодочках, включающее кристгшлизационную камеру с установленным в ее полости иагревателш4, отделенный от камеры вакуумным затвором шлюзовой отсек, расположенный по оси нагревателя, и систему откачки, соединенную с камерой и отсеком отдельными линиями, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, шлюзовой отсек укреплен на поворотной KaiSeTKe, а Вс1куумный зат- вор встроен в корпус камеры.