СПОСОБ СНЯТИЯ ТОНКОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ со СТЕКЛЯННЫХ ПОДЛОЖЕК Советский патент 1970 года по МПК C03C15/00 C03C23/00 

Изобретение относится « технологии изготовления тонкослойвых оптических цокрытий.

Известен способ снятия тонкослойных покрытий со стеклянных лодлол ек -путем травления в азотной кислоте, содержащей ионы бериллия, алюминия и циика.

Основным недостатком этого способа является его ниэкая производительность.

Цель изобретения - сокращение времени проведения всего ко,м-пле-кса технологического процесса снятия покрытий, нанесенных на подложки, В кислотном и перекисном растворах и промывкой водой и спирто-эфирной смесью.

Способ осуществляют следующим образом.

Образцы с неудачными покрытиями укладывают в гнезда приспособления и заливают свежеприготовленным раствором, содержащим 70-80% НС1 и 20-30% HNOg на 5-8 час. После такой обработки на некоторых подложках остаются лищь отдельные точки недоснятого покрытия. Затем раствор сливают, и детали, не вынимая из приспособления, тщательно промывают проточной водопроводной, а затем дистиллированной водой. Далее, подложки в приспособлении заливают щелочноперекисныМ раствором. Раствор готовят непосредственно перед заливкой путем смещения каждых 90 мл «перегидроля с 10 мл 40%-ного раствора КОН. В щелочно-перекисный раствор добавляют 0,01 экв/л ионов бериллия.

Спустя 5-10 мин -после заливки начинается каталитический распад перекиси водорода.

С этого момента подложки выдерживают в данном растворе 30-45 мин. По истечении этого времени раствор сливают, и подложки вновь промывают последовательно водопроводной, дистиллированной водой, спиртоэфирной смесью.

Предмет изобрете 1ия

1. Способ снятия тонкослойных покрытий, налример чередующихся пленок германия и

моноокиси кремния, со стеклянных подложек путем травления в кислотной ванне, отличающийся тем, что, с целью повыщения эффективности и ускорения процесса, травление ведут в кислотной ванне, содержащей 70-80% НС1

и 20-30% НЫОз в течение 5-8 час, после чего промывают водой и обрабатывают 20- 60 мин. щелочно-иерекисным раствором с добавкой бериллия с носледующим промыванием в воде.

2. Способ но п. 1, отличающийся тем, что щелочно-перекисвый раствор с добавление:м бериллия содержит 20-30% по весу перекиси водорода, 2-4% едкой щелочи и не менее 0,01 экв/л ионов бериллия.