Изобретение отнооится к обл.асти электранНОЙ IMlHIKlpOQKOn.HIH.
Известны устройства для 0(р|иента|и,ни объекта в элакт,рон,ном микроок-опе, соде(ржащ,ие ;нвподаиж ное осн-авалие, (оредспво .для наклона .об|раз ца, а также держатель образда.
Е этих устройствах число пер&мещен1ий образда |р,ав1но числу управляемых органов (наП1р|име,р, рукояток), что затрудняет управление устройствам и усложняет его конслрукЦИЮ.
Предлагаемое устройст1во позволяет осуществлять иа1клон образца относительно «птической оси п;р|ибо р|а, В|ращвн1ие его вок|руг оси, парпенд ииулЯрлой юласкости образца, ,и горизонтальное юеремещеЕие в 1ПЛО|СКОСТ|И образца. Кроме того, в устройстве меньше управляемых элементов при тех же степенях свободы перемещения образца.
Предлагаемое устройство дл.я ориентации объекта в элвктр1ан,ном MHiKpiQciKione отличается -от .из1веоТ|Ных тем, что юредство для .наклона об(разща выполнено в виде оод вижното корпуса, р-асполож1е1н,Наго внутри иеподвижного основания, ,и снабжено двумя взаимнопер1пенд)И1куляр,ны1ми направляющими, iHainipiHwep п,аза1.м1и. В 1пазах пе|ремещает ся полая квадратная втулка с де ржателем образца. Один ,из пазов вылолиен -внутри конической mecreip,Еи эксцентрично относительно этой шестерни,
На чертеже изображено предлагаемое устройство.
Устройство содержит нвподВ|НЖ1Ное основание 1, установленное на предметном столике мияроскопа, внутренний подвижный корпус 2, который может 1паво|рачи;ватыоя относительно основания н,а .двух полуосях 3 с помощью шестерн,и 4 .и сектора 5.
На Kopinyce 2 ,омонт|Ирова1Ны xpainoBoe колесо 6 с собачкой (на чертеже не показана) и втулка 7, эксцентрично ра1сцоложанная в конической шестерне 8. Храповое колесо 6 и втулка 7 .-имеют по одной натравдяющей (иапрлмар, по одному пазу). При сборке устройства эти направляющие устанавливаются вза(Имно пер1пен ДН1куляр.но. В направляющие ломещается полая квадратная втулка 9 с держателем образца 10.
При работе механизма вращение от уп.равляющего ар-гана (рукоятки) передается .на коническую шестерню 8. При вращении шестерни 8 в одну сторону втулка 7, храповое колесо 6 и втулка 9 с держателем образца вращаются вокруг оси, перпендикулярной плоскости образца.
При вр ащении шестерни SB другую сторону храповое колесо 6 1стопор.ится собачкой, втулка 7 в силу эксцентриситета проскальзывает в шестерне 8 и квадратная втулка 9 вместе с держателем образца 10 -перемещается
ВДОЛЬ нап|ра вляющег:0 паза хра1гю;вого колеса 6.
П ip е д им е т и з о ,б ip е т е ,н к я
Уст|роЙ1ство для Дриентаили объекта в электронном микроскопе, с.адерл ащее ,неп:одв;ил ное основание, оредст1во для наклона образ)ца, держатель образца, отличающееся тем, что, с целью |у|Прощен,ия кон СТ1рукцИИ, оредство для наклона об раз;ца Быполнено в -виде
подвижного iKQpinyica, рагаполаженного внутри не1ПОДВ|Ижно;го основавия, н .анабжено двумя
взаимло 1пе|риендикуля|рным,и наираюляющими, напримар naisaiMS,в которых помещена полая
1квад)ратная втулка с держателем об|р1азца, И:меющая возможность скользить вдоль направляющих, одна из которых находится внутри тоничеакой шестерни, приводящей в движение эти направляющие, и расположена эксцентрично отноаителыно конической шестерни.
