Способ микроанализа гетерофазных объектов Советский патент 1984 года по МПК H01J37/28 

1 Изобретение относится к микрозондовой технике и может быть использов но в в1икроан;шизаторах. Известен способ микроанализа гете рофазных объектовJ включающий облуче ние исследуемого участка электронным зондом и регистрацию и измерение характеристического излучения С 1 , Недостатком данного способа является, то, что локальность анализа определяется точностью меха1шческого позиционирования объекта. Наиболее близким к предлагаемоьгу по технической сущности является спо соб микроанализа гетерофазных объектов, включакш:р1Й облучение исследуемого участка электронным зондом, фор мирование его изображения, регистра,цию и измерение характеристического излучения С2}. Недостатком известного способа является низкая точность количественной оценки присутствия в объекте той или иной фазы. Это связано с тем, что интенсивность линии в харак теристическом спектре излучения пропорционаЛьна объему фазы, который был облучен зондом, В случае если площадь 5ф исследуемой фазы больше площади $3 зонда,то погрешность опре деления количества исследуемой фазы бу дет пропорциональна отношеник Зф/Зл, В то же время значительное увеличени диаметра зонда резко снижает локальность анализа. Цель изобретения - повьшение точности анализа. Указанная цель достигается тем что согласно способу микроанализа гетерофазных объектов, включающему о лучение исследуемого участка электронным зондом, формирование его изображения, регистрацию и измерение характеристического излучения,после формирования изображения исследуемого участка изменяют форму и размеры поперечного сечения электронного зонда по форме и размерам исследуемо го участка и поворачивают зонд вокруг электронно-оптической оси до сов мещения его проекции на объект с этим участком. Сущность изобретения заключается следующем. Исследуемый объект, сост ящий из набора фаз, помещают в микро зондовый прибор и формируют его изоб- ; ражение. Затем на изображении выделя ют необходимый микроучасток, аппроксимируют форму участка геометрическо 12 фигурой, например эллипсом или прямоугольником с заданными размерами, формируют зонд с такой же формой и геометрическими размерами, равными размерам аппроксимирующей фигуры, затем совмещают сформированный зонд с исследуемым микроучастком и ориентируют относительно него по азимуту для полного перекрытия зондом поверхности исследуемого участка. После этого регистрируют характеристическое излучение с микроучастка и измеряют его интенсивность. При такой последовательности операций обеспечивают значительное повышение точности проведения микроканализа за счет того, что практически вся площадь исследуемой фазы (или соответствующего ей микроучастка) облучается зондом, так как форма зонда и его размеры с точностью аппроксимации совпадают с формой и размерами микроучастка, т.е, в генерации характеристического излучения принимает участие весь объем микроучастка, а следовательно, интенсивность излучения будет соответствовать действительному процентному содержанию исследуемой фазы,Кроме того, точность измерения интенсивности излучения будет повышена, так как шум, обусловленный частью зонда, облучающей граничные с исследуемой фазой участки, снижен практически до нуля за счет того, что формируют зонд требуемой формы и ориентации. На чертеже приведена схема электронно-зондового микроанализатора. Микроанализатор состоит из после- довательно расположенных источника 1 электронов, корректирующего элемента 2, фокусирующей линзы 3 и системы 4 сканирования. Кроме того, микроанализатор содержит преобразователь 5, усилители 6, выходы которых соединен с входом индикаторного блока 7, задакщий генератор 8, выход которого связан с системой 4, устройство 9 ввода информации, специализированного вычислительного устройства (СВУ) 10, детектора 1) характеристического излучения. Электронный пучок, генерируемый источником электронов, фокусируют на объекте и сканируют с помощью систем1л 4 сканирования, С помощью преобразователя 5, усилителя 6 и индикаторного блока 7 на экране последнего формируют растровое изображение объекта. При этом скакирова31ние луча кинескопа блока 7 и электро ного пучка микроанализатора синхрони зировано СВУ 10, первый вход которого и первый выход электрически связаны, соответственно, с- выходом бло- ка 7 и входом задающего генератора 8. На сформированном изображении с помощью устройства 9 ввода информации, выполненного в виде светового пера, выделяют интересующий исследр вателя микроучасток. Параметры микро участка (его форма и размеры) поступают в СВУ 10, с помощью которого форму выделенного участка аппроксими руют геометрической фигурой, например прямоугольником. С выхода СВУ 10 подается соответствующий сигнал на задающий генератор 8, который с помощью системы 4 совмещает зонд с микроучастком. Со второго выхода 14 СВУ 10 подают сигнал на корректирующий элемент 2 выполненный в виде набора отклоняющих катушек и угловых диафрагм, котосый Лормирует зонд требуемой фоомы. С тоетьего выхода СВУ подают корректирующий сигнал на фокусирующую линзу 3, которая обеспечивает требуемые линейные размеры зонда. Затем с помощью детектора 11 характеристического излучения его регистрируют, измеряют интенсивность и через усилитель видеосигнал подают в индикаторный блок 7. Таким образом, предлагаемый способ может быть легко реализован на современных электронно-зондовых приборах, а его применегше при исследованиях гетерофазных объектов позволит, повысить точность микроанализа.

СПОСОБ ЩКРОАНАЛИЗА ГЕТЕРОФАЗНЫХ ОБЪЕКТОВ а включакщий облучение исследуемого участка электронным зондом, формирование его изображения, регистрацию и измерение характеристического излуче1шя , отличающийся тем, что, с целью повышения точности анализа, после формирования изображения исследуемого участка изме11яют форму и размеры поперечного сечения электронного зонда по форме и размерам исследуемого участка и поворачивают зонд BOKpyi электронно-оптической оси до совмеще-: ния его .проекции на объект с этим и участком. СО ю --4ZH4 I