РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ КОВАРА Советский патент 1971 года по МПК C23F1/30 

Изобретение относится к области химической обработки ковара и может быть исиользовано ири производстве изделий электронной техники, в частности при изготовлении элементов интегральных схем.

Известен раствор для травления ковара, содержащий соляную кислоту.

Предложенный раствор отличается от известного введением в его состав перекиси водорода и лимонной кислоты нри определенном соотношении компонентов. Это позволяет улучшить качество травления и чистоту обрабатываемой поверхности.

Описываемый раствор содержит соляную кислоту, перекись водорода и лимонную кислоту при следующем соотношении компонентов (Б вес. %):

соляная кислота2 - 6

перекись водорода4 -12

лимонная кислота0,05- 0,5

водаостальное

Пример. Для изготовления рамочных выводов интегральных схем обрабатывается с обеих сторон листовой ковар толщиной 0,3 мм. В качестве копировального слоя используется фоторезист СЦК-1.

Травление проводится при комнатной температуре в растворе следующего состава (в вес. %):

соляная кислота перекись водорода лимонная кислота вода

При травлении в указанном растворе скорость глубинного травления 30-40 мкм/мин,

скорость бокового травления 8-10 мкм/мин.

Время травления заготовки 3,5-5 мин. По

внешнему виду поверхность заготовок после

обработки в данном растворе блестящая, полированная (9 класс чистоты).

Предмет изобретения

Раствор для травления ковара, содержащий соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью улучщения качества травления, в его состав введены перекись водорода и лимонная кислота при следующем соотношении компонентов (в вес. %):

соляная кислота2-6

перекись водорода4 - 12

лимонная кислота0,05-0,15

водаостальное