МНОГОКОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО Советский патент 1971 года по МПК H05K13/00 

.1

Многоконтактное устройство, в котором контакт между контактной площадкой микросхемы и зондом создается при помощи сжатого воздуха с регулировкой давления, известно.

Цель изобретения - создание равномерного регулируемого усилия прижима контактных щтырей к контактным нлощадкам измеряемой микросхемы. Для этого между измерительным столиком и крышкой в теле столика образован объем, соеднненный с вакуумным насосом.

Сущность изобретения состоит в создании разреженного пространства в полости, образованной измерительным столико.м, на котором номещается микросхема, и крышкой с герметизирующей прокладкой, которое достигается соединением этой полости посредством вентиля с вакуумным резервуаром или вакуумным насосом.

Сила давления, образующаяся за счет разпости атмосферного давления в этой полости, отнесенная к сечению контактного штыря, прижимает последний к контактной нлощадке измеряемой микросхемы.

На чертеже представлено многокоптактпое устройство.

Оно содержит измерительный столик /, герметизирующую прокладку 2, крышку 3, измеряемую микросхему 4, контактные штыри 5, прижимное устройство 6, полость 7, контактные площадки мнкросхем 8, направляющие 9, вентиль 10 и трубопровод //, соединяюиип полость с вакуумным резервуаром или вакуумным насосом посредством вентнля.

При открывании вентиля в полости создается разрежение, в результате чего контактные штыри, расположенные в нанравляюниьх крышк, втягиваются в полость с силой, пропорциональной разности атмосферного давления в полости, отнесенной к сечению контактного . Контактные штыри своим острием внедряются в контактной нлощадке микросхемы, помещенно1 на столнке в направляющих, обеспечпвая )1адежный контакт, сила которого может регулироваться степенью разрежения в полости. Прижимное устройство, подавая крышку столику, благодаря прокладке обеспечивает герметизацию полостн.

Предмет изобретения

Многоконтактное устройство, содержащее измерительный столик с направляюп1пми, герметизирующую прокладку, контактные нггыри н нрпжпмпое устройство, от.тчающееся тем, что, с целью создання равномерного регулп 1уемого усилия нрнжнма контактных штырей к контактным площадкам измеряемой микросхемы, между измерительным столикол и крышкой в теле носледиего образован объем, соединенный с вакуумным насосом.

П S 8