ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА Советский патент 1971 года по МПК G01R1/20 

Известна зондовая головка для установок контроля и намерения схем, выполябиная « виде эластичного основа ния, снабженного контактами.

С целью увеличения надежности «онтактировавия и удешевления технологии ее изготовления в предлагаемом ycTpoftcTiBe в качестве оонования используется Прозрачная планка, с одной стороны которой нанесены тонколленочные контакты и выводы, покрытые аналогичной аенова-нию пленкой, снабженной отверстиями, расположенными IB соответствии с расположением контактов.

На чертеже представлена предлагаемая зондовая головка.

Зондовая головка изготовлена из .фольгированного эластичного прозрачного материала 1, на котором в местах контактных ллощадок микросхемы оставлены площадки медной фольги 2 с выводами 3 по .периметру эластичной оановы зондовой головки. Медные 1площадки (зонды) покрываются износостойким электропроводящИМ слоем (на1П1ример, се;ре5ро, платина и т. д.) и дополнительно обклеиваются вторым слоем эластичного материала 4

для придания большой механической прочности.

Готовая эластичная зондовая головка укрепляется в специальной оправе. Последняя осуш,ест.вляет контактирование зондовой головки с контактными плош,адками контролируемой микросхемы.

Подложка устанавливается в на1Пра(вляюш,ие рамки стола, которые координируют контактные Площадки микросхемы по отношению к элементам контактирования эластичной головки.

Предмет изобретения

Зондовая голойка для установок контроля и из:мерения схем, выполненная в виде эластичного оонован-ия, снабженного контактами, отличающаяся тем, что, с целью увелИЧения Надежности контактирования и удешевления технологии ее изготовления, в качестве основания использована прозрачная .пленка, с одной стороны которой нанесены тонкопленочные контакты и выводы, .покрытые аналогиЧНой основанию 1пленкой, снабженной отверстиями, расположенными в соответствии с -расположением контактов.

p. ...,

:-