ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ЭЛЕКТРОФОТОГРАФИЧЕСКИХ СЛОЕВ НА ЦИЛИНДРИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ Советский патент 1973 года по МПК C23C14/12 

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме. Известна вакуумная установка для нанесения электрофотографических слоев, содержащая вакуумную камеру, внутри которой расположены цилиндрические подложки, нагреватели и испаритель. Однако в известной установке нерационально использован объем камеры и низка производительность. Цель изобретения - увеличение производительности работы установки. Предлагаемое устройство отличается тем, что нагреватели установлены вертикально на вращающихся опорах внутри цилиндрических подложек, а испаритель выполнен из последовательно надетых чащек на трубчатую печь. На чертеже изображена предлагаемая схема установки. Она состоит из вакуумной камеры 1, внутри которой расположены цилиндрические подложки 2, нагреватели 3 и испаритель 4. Цилиндрические подложки 2 установлены на вращающихся опорах 5, а испаритель 4 выполнен из последовательно надетых чашек 6 на трубчатую печь 7 и расположен по оси камеры. В чащки 6 загружается испаряемое вещество. Цилиндрические подложки 2, подлежащие напылению, помещаются на вращающиеся опоры 5, которые могут радиально перемещаться относительно испарителя 4. Во время напыления все опоры 5 приводятся в равномерное вращение. Температура цилиндрических подложек 2 может регулироваться за счет радиационного подогрева нагревателей 3, расположенных неподвижно по оси опор 5. П предмет изобретения Вакуумная установка для нанесения электрофотографических слоев на цилиндрические подложки, содержащая вак мную камеру, внутри которой расположены цилиндрические подложки, нагреватели и испаритель, отличающаяся тем, что, с целью увеличения производительности, нагреватели установлены вертикально на вращающихся опорах внутри цилиндрических подложек, а испаритель выполнен из последовательно надетых чашек на трубчатую печь.