СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ Советский патент 1971 года по МПК C23C16/18 

Изобретение относится к области получения металлических покрытий в газовой фазе.

Известен способ получения металлических покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений при контактировании их с нагретой подложкой. Однако условия проведения известного способа не позволяют получить покрытие, диффузионно сцепленное с основой.

Предложенный способ отличается от известного тем, что начальную стадию процесса проводят при температуре подложки выше 850°С и давлении паров металлоорганического соединения не более мм рт. ст., что обеспечивает диффузионное сцепление покрытия с основой.

Покрываемое изделие нагревают в вакууме до температуры, обеспечивающей диффузию металла покрытия в изделие. После этого в рабочее пространство подают пары металлоорганического соединения с низкой концентрацией, не нревышаюш,ей мм рт. ст.

После определенной выдержки в указанных условиях температуру подложки снижают до обычно применяемой в данном процессе ( 400°С) и соответственно увеличивают давление пара металлоорганического соединения.

тия продуктами разложения металлоорганического соединения, что обеспечивает получение высококачественных металлических покрытий, обладающих диффузионным сцеплением с основой.

Пример. Образец из стали ОХ17Н нагревают в вакууме при мм рт. ст. до 920- 960°С, после чего к образцу подают пары бисэтилбензолхрома с давлением мм

рт. ст., что соответствует температуре его жидкости 80°С. При этих условиях образец выдерлчивают около часа, после чего температуру образца понил ают до и соответственно увеличивают давление паров бисэтилбензолхрома до давления, соответствующего температуре его жидкости 140°С, и при этих условиях наращивают хромовое нокрытие до требуемой толщины.

Предмет изобретения

Способ получения металлических покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений при контактировании их с нагретой подложкой, отличающийся тем, что, с целью получения диффузионного сцепления покрытия с основой, начальную стадию процесса осуществляют при температуре свыше 850°С и давлении паров металлоорганического соединения не более мм рт. ст.