СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МАГНИТОТВЕРДОГО РАБОЧЕГО СЛОЯ МАГНИТОНОСИТЕЛЯ Советский патент 1973 года по МПК G11B5/85 

1

Изобретение относится к области приборостроения, в частности .к технологии изготовления носителей магнитной записи информации.

Известны способы получения магаитотвердого рабочего слоя магнитоносителя электролитическим ИЛИ химическим осаждением металлов.

Технология известных способов сложна и не позволяет получить достаточно равномерные по толщине и однородные по физическим и магнитным свойствам слои, что ограничивает использо1ваНие носителей с таким покрытием для записи дискретной информации с высокой плотностью.

С целью получения магнитотвердого рабочего слоя малнитоносителя с достаточно высокой однороднюстью рабочего слоя по магнитным свойствам, позволяющей обеспечить высокую плотность записи информации, по предлагаемому способу магнитный металлический слой наносят на предварительно нагретую поверхность изделия путем парофазного термического разложения легколетучик металлоорганических соединений, например паров карбоиилнитрозила кобальта, в герметичной камере с последующей термической обработкой изделия в востановительной среде.

Процесс термического разложения паров карбонилнитрозила кобальта ведут на подложке, нагретой до температуры 100-500°С,

и при остаточном давлении в камере покрытия 1-10-3 мм рт. ст. до 10 мм рт. ст., кроме того указанный процесс ведут при атмосферном давлении в токе несущего газа при парциальном давлении паров карбонилнитрозила 0,1 -10 мм рт. ст. Hia нагретой подложке.

Карбонилнитрозил кобальта, находящийся в герметичной емкости испаряется и его пары собираются в испарителе, откуда с постоянной скоростью направляются в камеру покрытия, в которой находится предварительно очищенная и нагретая подложка. Пары карбонилнитрозила кобальта, попадая на нагретую подложку, разлагаются с осаждением металлического покрытия и выделением в газовую фазу продуктов реакции, которые непрерыв:но удаляются вакуумным насосом.

В процессе термического разложения карбонилнитрозияа участвуют следующие реакции:

Со (СО) + ЗСО + ЫО (1)

Со.(СО,) + 6СО -f N,, (2)

25

Реакции (1) и (2) проходят одновременно, однако преимущественно протекает реакция (2), поэтому полученное покрытие, в основ30 ном состоит из окиси кобальта.

Получение покрытий ведут на подложке, нагретой до температуры 100-500°С, и при остаточном давлении в камере покрытия от ЫО- мм рт. ст. до 10 мм рт. ст.

Процесс ведут при атмосферном давлении в токе несущего газа (инертного или восстановительного) с малым парциальным давлением (0,1 -10 мм рт. ст.) паров карбонилнитрозила кобальта.

Полученные покрытия подвергаются термической обработке в восстановительной среде (водород, окись углерода и т. п.) при температуре 200-500° С.

После проведения термического восстановления покрытия приОбретают магнитные свойства.

Предмет изобретения

1. Способ получения магнитотвердого рабочего слоя магнитоносителя путем нанесения тонкого магнитотвердого металлического слоя

на поверхность очищенной подложки, отличающийся тем, что, с целью повышения однородности рабочего слоя по магнитным свойствам, магнитный металлический слой наносят на предварительню нагретую поверхность изделия путем термического разложения паров карбонилиитрозила кобальта в герметичной камере с последующей термической обработкой изделия в восстановительной среде.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что процесс термического разложения паров карбонилниггрозила кобальта ведут на подложке, нагретой до температуры 100-500°С, и при остаточном давлении в камере покрытия

l-ilO мм рт. ст. до 10 мм рт. ст.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что процесс термического разложения паров карбонилнитроэила кобальта ведут при атмосферном давлении в токе несущего газа при

парциальном давлении паров карбонилиитрозила 0,1-ilO мм рт. ст. (на нагретой подложке.