Способ нанесения металлических покрытий Советский патент 1974 года по МПК C23C11/02 

Изобретение относится к области нанесения металлических покрытий в газовой фазе. Известен способ нанесения металлических покрытий термическим разложением ларов металлоорганического соединения на нагретой подложке. По предлагаемому способу металлоорганическое соединение при его исиарении нагревают до температуры, превышающей на 5- 10°С температуру начала его терморазложения. Это позволяет интенсифицировать процесс. Для сохранения равномерности кипения вещества в него подают аргон под давлением 0,3-0,4 мм рт. ст. Образующиеся газообразные продукты разложения способствуют повышению количества паров металлооргапического соединения, поступающих к покрываемой поверхности, что интенсифипирует процесс. В этих условиях количество сан-систых выделений на стенках иснарителя незначительно. Получающееся покрытие отличается хорошей адгезией с подложкой и незпачптельным содержанием несвязанного углерода. Пример. Для -получения хромового нокрытия на виутренпей поверхности трубки диаметром 6,5 мм последнюю нагревают в вакууме до 450°С. Жидкое хромоорганическое соединение - бисэтилбепзолхром нагревают до тем пературы 235-245°С, при которой начинается его терморазложение. Образующиеся газообразные продукты разложения интенсифицируют испарение металлоорганического соединения и переносят его пары к покрываемой поверхности. Внутри трубки на ее стенках пары разлагаются с образованием хромового покрытия, нрочно сцепленного с основой. Для обеспечения равномерного кипения жидкого металлооргаинческого соединения в испаритель подают аргон под давлением 0,3-0,4 мм рт. ст. Потери бисэтилбензолхрома за счет разложения па стенках иснарителя составляют менее 0,1%. Производительность процесса повышается в несколько раз. Предмет изобретения Способ нанесения металлических покрыгий термическим разложением паров металлоорганического соединения па нагретой подложке, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса, металлоорганическое соединение при его испарении нагревают до температуры, превышающей на 5-10°С температуру начала его терморазложения.