СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ТУГОПЛАВКИХМЕТАЛЛОВ Советский патент 1971 года по МПК C23C10/06 

.1

Изобретение относится к получению покрытий тугоплавких металлов из газопаровоп фазы, в частности к получению покрытий вольфрама и молибдена.

Известен способ получения покрытий тугоплавких металлов восстановлением галоидопроизводных соединений водородом на нагретой поверхности подложки. Однако этот способ не обеспечивает достаточной равномерности получаемых покрытий ввиду обеднения газовой смеси, пропускаемой над поверхностью нагретой подложки.

Предложенный способ повышает равномерность покрытий. Это достигается тем, что на подложке создают положительный градиент температуры в направлении движения газовой смеси равный, например, 0,05-1,0 °/мм при скорости движения газовой смеси вдоль подложки 1 -100 мм/сек.

Способ осуществляют следующим образом.

Покрытия тугоплавких металлов получают восстановлением галоидопроизводных соединений водородом на поверхности нагретой подложки. На последней создают положительный градиент температуры в направлении движения газовой смеси, например градиент равный 0,05-1,0 °/мм, ng.H скорости движения газовой смеси вдоль подложки 1 - 100 мм/сек. Получают равномерные покрытия на подложках длиной до 2-3 м при использовании металлосодержащего компонента газовой смеси на 80-95Например 1. При получении покрытий вольфрама из смеси гексафторида вольфрама с водородом градиент температуры 0,2 °/мм при скорости газового потока б- 7 (в пересчете на нормальные условия). На подложке длиной 800-850 мм толщина полученного осадка колеблется в пределах ±10%. Эффективность использования гексафторида вольфрама 75-80%.

Пример 2. Покрытие молибдена из смеси гексафторида молибдена с водородом получают на подложке длиной 250 мм при градиенте температуры 0,5 °/лиг и скорости газового потока 15 мм/сек (в пересчете на нормальные условия). Толщина осадка колеблется в пределах ±12% при эффективности использования гексафторида молибдена 73%.

Предмет изобретения

1. Способ получения покрытий тугоплавких металлов путем восстановления галоидопроизводных соединений водородом на поверхности нагретой подложки, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности покрытий, на подложке создают положительный градиент температуры в направлении 3 2. Способ по п. 1, oтлuчaюu uйcя тем, что создают градиент температуры равный 0,05- 1,0 °/мм. 4 3. Способ по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что движение газовой смеси вдоль подложки осуществляют со скоростью 1 - 100 мм/сек.