СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ Советский патент 1971 года по МПК C23C10/06 

Изобретение относится к способам получения покрытий путем осаждения из газопаровой фазы.

Известен способ получения покрытий путем восстановления галоидопроизводных соедипеНИИ водородом па нагретой поверхности подложки.

Однако такой способ обладает недостаточной производительностью и требует применения мощного нагревательного оборудования.

Предлагаемый способ отличается от известного тем, что восстановление осуществляют атомарным водородом.

Это позволяет интенсифицировать, а также упростить процесс осаждения за счет исключения дополнительного нагревательного оборудования.

При осуществлении способа источником тепла для нагрева поверхности подложки служи: рекомбинация атомов водорода.

Ввиду большой активности атомов водорода и отсутствия стадии диссоциации скорость реакции увеличивается, что интенсифицирует нроцесс. Температуру поверхности подложки регулируют изменением ее расстояния до среза сопла атомно-водородной горелки, из которой атомарный водород подают к поверхности подложки. Одновременно к поверхности подложки цодводят струю легколетучего галоидного соединения, в качестве которого иснользуют, например металлоорганические и другие химические соединения. Процесс осуществляют в контролируемой атмосфере при перемещении горелки по всей покрываемой поверхности. Путем регул 1роваиия скорости перемещения горелки получают покрытия различной толщины.

Пример. Па поверхность графитовой подложки, находящейся в атмосфере аргона, подают струю атомарного водорода. В результате рекомбинации атомов водорода графит нагревается до . Одновременно в зону соприкосновения струи водорода с поверхностью графита подают струю газообразного гексафторида вольфрама. В результате взаимодействия гексафторида вольфрама с атомарным водородом на поверхности нодлол ки осаждается слой металлического вольфрама. Скорость осаждения 0,5-2 мм/час.

Предмет п з о б р е т е н и я

Способ получения покрытий путем восстановленпя, напри ер, галоидопроизводных соединений водородом па нагретой поверхности подложки, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса, восстановление осуществляют атомарным водородом.