СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОНТАКТОВ В ПЛЕНОЧНЫХРЕЗИСТОРАХ Советский патент 1971 года по МПК H01C17/28 

Изобретение относится к способам получения контактов в резисторах из нитрида тантала.

Известен способ получения контактов в пленочных резисторах, состоящий в том, что резистивный слой покрывают слоем золота.

Предложенный способ отличается от известного тем, что перед нанесением слоя золота на резистор послойно напыляют другие металлы, обеспечивающие улучшение паяемости контактов после термообработки резисторов из нитрида .

-Предложенный способ заключается в том, что на нитрид тантала наносят, например, напылением в вакууме слой хрома или хромоникелевого сплава, содержащего до 80% никеля, ТОЛЩИНОЙ 100-800 А, затем слой металла, выбранного из группы: палладий, родий, платина, рутений, толщиной 2500-3500 А, поверх которого наносят слой золота толпщной

3200-4500 А.

Контактная оконечность резистора из нигрида тантала, состоящая из последовательно напыленных слоев хрома толщиной 250, палладия толщиной 2875 и золота толщиной

при температуре выше 475°С, сохраняет способность к пайке. Проводник, припаянный к такой контактпой оконечности, прп воздействии на него достаточного усилия сохраняет прочную связь в .месте контакта, и до отделения проводника в месте контакта происходит разрущепие подложки.

10

Предмет изобретения

1.Способ получения контактов в плспочпых резисторах путем напыления слоя золота, огличающийся тем, что, с целью улучшения паяемости контактов после термообработки резистора из нитрида тантала, перед нанесением слоя золота на нитрид тантала напыляют хромсодержащий слой, затем металл, выбранный из группы: палладий, родий, платппа, рутений.

2.Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве хромсодержащего слоя на 1итрид тантала напыляют слой хрома.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве хромсодержащего слоя на нитрид тантала напыляют хромоникелевый сплав, содержащий до 80 7о никеля.