Изобретение относится к области технологии и может быть использовано при изготовлении, например, электрических конденсаторов, применяемых в электронной технике или радиотехнике.
Известны способы изготовления электрических конденсаторов путем напыления тонких пленок в вакууме на вращающуюся цилиндрическую заготовку.
С целью упрощения технологии изготовления конденсаторов, уменьщения их габаритов и стоимости заготовку конденсатора располагают параллельно осям продольных испарителей, работающих одновременно и размещенных последовательно один за другим в соответствии с необходимым порядком нанесения спиральных металлических и диэлектрических слоев конденсатора. Зоны действия испарительных элементов экранируют одну от другой. Скорость вращения цилиндрической заготовки в процессе напыления непременно замедляют, а интенсивность напыления непрерывно увеличивают.
Изобретение поясняется чертежом.
Заготовку / цилиндрической формы располагают параллельно осям продольных испарителей 2-4 в вакуумной системе.
электрических контактов. Число испарителей в зависимости от количества напыляемых металлов и диэлектриков может быть два и более. Зоны действия испарителей 2-4 разделяют перегородками 5 и 5. Напыляемыми металлами могут быть, например, алюминий, цинк, медь, диэлектриками - кремний, корунд.
Вращают заготовку при одновременном напылении металлов и диэлектриков, зоны напыления которых разделены перегородками так, чтобы получились последовательные слои металлов и диэлектриков, навивающиеся на заготовку, как спираль. При этом в зависимости от желаемой толщины металлических и диэлектрических слоев регулируют скорость вращения заготовки и интенсивность напыления соответствующих испарителей. При необходимости нанесения слоев в виде металлических или диэлектрических сплавов подбирается требуемое количество испарителей с соответствующими компонентами. После напыления необходимого количества витков слоев известными способами отводят электрические конктакты от металических обкладок - слоев и помещают конденсатор в стандартную упаковку.
кууме на вращающуюся цилиндрическую заготовку с присоединением выводов и размещением в упаковке, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления конденсаторов, уменьщения их габаритов и стоимости, заготовку конденсатора располагают параллельно осям продольных испарителей, работающих одновременно и размещенных последовательно один за другим в соответствии с необходимым порядком нанесения спиральных металических и диэлектрических слоев конденсатора, зоны действия испарительных элементов экранируют одну от другой и непрерывно замедляют в процессе напьшения скорость вращения цилиндрической заготовки, а интенсивность напыления непрерывно увеличивают.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Способ изготовления электронных детекторов терагерцовой частоты | 2022 |
|
RU2804385C1 |
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ВАКУУМНЫХ ПОКРЫТИЙ В ОТВЕРСТИЯХ | 2001 |
|
RU2211258C2 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОНДЕНСАТОРОВ ПОСТОЯННОЙ ЕМКОСТИ | 1970 |
|
SU271654A1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАНООТВЕРСТИЙ | 2010 |
|
RU2427415C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ РАДИОЭЛЕКТРОННЫХ КОМПОНЕНТОВ | 2023 |
|
RU2826900C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДЕТЕКТОРОВ ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНА | 2014 |
|
RU2545497C1 |
Пленочный диод | 1974 |
|
SU550066A1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ПЕЧАТНЫХ ПЛАТ НА ТЕПЛООТВОДЯЩЕЙ ПОДЛОЖКЕ | 2014 |
|
RU2602599C2 |
Способ изготовления тонкопленочных конденсаторов | 1979 |
|
SU960981A1 |
ЗЕРКАЛО ЗАДНЕГО ВИДА ДЛЯ ТРАНСПОРТНОГО СРЕДСТВА И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 1993 |
|
RU2043222C1 |
Даты
1971-01-01—Публикация