Изобретение относится к способам контроля толщины тонких пленок многослойных оптических систем в процессе их изготовления.
Известные экстремальные способы контроля толщины каждого слоя в процессе напыления не позволяют точно зарегистрировать момент прекращения напыления даже при напылении первого слоя. Точность последующих слоев прогрессивно ухудшается.
Цель изобретения-повысить точность контроля.
Это достигается тем, что для контроля толщииы напыляемой пленки фиксируют изменение интенсивности прошедшего через напыляемую пленку или отраженного от нее света длиной волны точек пересечения спектральных характеристик отражения или пропускания системы слоев с напыляемой пленкой и той же системы без нее. Например, для контроля толщины второго напыляемого слоя используют свет длиной волны точек пересечения спектральных характеристик пропускания или отражения одного и двух слоев, для контроля толщины третьего слоя - свет длиной волны точек пересечения спектральных характеристик двух и трех Слоев и т. д. Напыление прекращают в момент, когда интенсивность прошедшего или отраженного света достигнет интенсивности, которая была зарегистрирована до начала нанесения контролируемого слоя.
Предмет изобретения
Способ контроля толщины тонких пленок по отражению или пропусканию света в процессе их изготовления, заключающийся в том, что регистрируют прошедший через контролируемую пленку или отраженный от нее свет,
преобразуют световой поток в электрический сигнал, который подают на исполнительный орган для прекращения процесса напыления, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, регистрируют свет, длина
волны которого соответствует точкам пересечения спектральных характеристик отражения или пропускания системы слоев с напыляемой пленкой и той же системы без нее.
