Изобретение относится к области электроосаждения металлов и снлавов. Известен способ непрерывного электроосаждения цилиндрических пермаллоевых пленок на проволоку из электролита, содержащего сернокислые соли никеля и железа, борную и лимонную кислоты и сахарин. Однако производительность процесса по известному способу низка, так как с увеличением плотности тока свыше 4-10 ма/см в осадках наблюдается резкое увеличение внутренних напряжений и плотности дефектов структуры пленки. Кроме того, малая скорость диффузии ионов в прикатодном слое неперемешиваемого электролита нриводит к значительному градиенту химического состава по толщине пленки. Для пермаллоя градиент выражается в повышении содержания железа с уменьшением толщины пленки при толщинах менее 2000- 3000А. Градиент химического состава вызывает магнитострикционные напряжения в пленке и нриводит к ухудщеиию структуры и магнитных свойств покрытия. с целью получения сплавов .однородного химического состава по предлагаемому способу процесс осуществляют при перемешивании электролита в турбулентном режиме при числах Рейнгольдса 2500-10000; температуре 50-65° и плотности тока 100-200 ма/см. Процесс осаждения пермаллоя на проволочную подлол ку нз бериллиевой бронзы (диаметр 0,183 мм), электролитически покрытую слоем меди, производится в цилиндрической ванне, выполненной из микропористой трубки (внутренний диаметр 6 мм) при изолированном анодном пространстве с анодами из платины. По длине зоны осаждения (23-28 мм) перемешивание осуществляется центробежным насосом, прокачивающим электролит через три ряда отверстий, которые расположены под углом 120° в направляющей втулке, непосредственно на проволочную подложку. Скорость движения подложки 6-10 см/мин. Расход электролита составляет 2,0-3,0 л/мин, что соответствует Re 2560-3840. Процесс ведут в электролите, содержащем, г/л: железо сернокислое 300-360 никель сернокислый 25-30 борная кислота 0,2-0,8 сахарин лимонная кислота при рП 2,7-3,0; температуре 50-65° С и плотность тока 100-200 ма/см. Осаждение производят в герметичной системе в атмосфере аргона. Предлагаемый способ позволяет получать осадки сплава никель-железо, которые характеризуются следующими параметрами: коэрцитивная сила150-200 а/ж; поле анизотропии80-120 а/и«; скос оси легкого намагничиванияне более 1,5°. Предмет изобретения 1. Способ электролитического осаждения сплава никель-железо типа пермаллой в электролите, содержащем сернокислые соли н елеза и никеля, борную и лимонную кислоты, сахарнн, отличающийся тем, что, с целью получения сплавов однородного химического состава, процесс осуществляют нри перемешивании электролита в турбулентном режиме нри числах Рейнгольдса 2500-10000; ,7-3,0; температуре 50-65° и плотности тока 100- 200 ма/см. 2. Способ но п. 1, отличающийся тем, что процесс ведут в электролите, содержащем, г/л: железо сернокислое5-7 никель сернокислый300-360 борная кислота25-30 сахарин0,2-0,8 лимонная кислотадо 3
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Способ электрохимического локального осаждения пленок пермаллоя NiFe для интегральных микросистем | 2015 |
|
RU2623536C2 |
Способ электрохимического осаждения пленок пермаллоя NiFe для интегральных микросхем | 2018 |
|
RU2710749C1 |
Электролит для осаждения покрытий сплавом никель-железо | 1985 |
|
SU1261974A1 |
Способ электрохимического осаждения пленок пермаллоя NiFe с повышенной точностью воспроизведения состава | 2017 |
|
RU2682198C1 |
Электролит для осаждения покрытий из сплава никель-железо | 1979 |
|
SU857306A1 |
СПОСОБ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ СПЛАВА | 1973 |
|
SU395518A1 |
Электролит для осаждения покрытий сплавом никель-железо-фосфор | 1980 |
|
SU985158A1 |
ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ НЕПОСРЕДСТВЕННОГО НИКЕЛИРОВАНИЯ АЛЮМИНИЯ И ЕГО СПЛАВОВ | 1992 |
|
RU2061104C1 |
ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НИКЕЛЬ-БОР | 2006 |
|
RU2329337C1 |
СПОСОБ ЭЛЕКТРООСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ СПЛАВОМ НИКЕЛЬ-ХРОМ | 2005 |
|
RU2292409C1 |
Даты
1972-01-01—Публикация