БИБЛИОТЕКА I Советский патент 1972 года по МПК C23C14/02 

Изобретение относится к области нанесения покрытий путем осаждения в вакууме, в частности к способам очистки поверхности перед нанесением покрытий.

Известен способ очистки поверхности в тлеющем разряде перед нанесением покрытий путем осаждения в вакууме. Однако при использовании известного способа требуется наличие электродов тлеющего разряда, в зоне действия которых должны находиться очищаемые детали.

С целью интенсификации и упрощения процесса по предлагаемому способу очистку поверхности осуществляют с использованием в качестве электродов тлеющего разряда кассет для крепления деталей.

Способ состоит в том, что очистку поверхности перед нанесением покрытий путем осаждения в вакууме осуществляют с использованием в качестве электродов тлеющего разряда кассет для крепления деталей.

При Осугцествлении способа очистку деталей производят в щтабелях, состоящих из кассет, что сокращает необходимое время очистки для нескольких деталей. После созДания в камере необходимой степени разряжения на изолированные друг от друга кассеты подают высокое напряжение, что приводит к созданию зоны тлеющего разряда внутри Щтабеля. После окончания очистки па детали осаждают покрытие.

Предмет изобретения

Способ очистки поверхности в тлеющем разряде перед нанесением покрытий путем осаждения в вакууме, отличающийся тем, что, с целью интенсификации и упрощения процесса, очистку осуществляют с использованием в качестве электродов тлеющего разряда кассет для крепления деталей.