Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.
Известно устройство для нанесения пленок катодным распылением, содержащее газоразрядную камеру, внутри которой размещены катод, анод и подложкодержатель.
Однако, известное устройство не обеспечивает требуемую равномерность толщины напыленного слоя покрытия.
Целью изобретения является повышение равномерности толщины пленок.
Эта цель достигается тем, что в предложенном устройстве- катод выполнен в виде плоских соосных с подложкодержателем колец разного диаметра.
На чертеже показано предложенное устройство.
Устройство состоит из газоразрядной камеры , внутри которой размещены катод 2, анод 3 и цодложкодержатель 4. Катод выполнен в виде плоских соосных с подложкодержателем колец разного диаметра. Катод соединен с минусом источника постоянного напряжения, плюс которого подключен к аноду, которым служат стенки и основание газоразрядной камеры. Натекатель 5 служит для напуска рабочего газа в камеру.
ном случае аргона, давление повышают до (1.-г8) 10 - мм рт. ст. К распыляемому катоду прикладывают потенциал - (2-6) кв. Положительные ноны аргона ускоряются потенциалом катода и бомбардируют его. Выбитые атомы материала катода осал даются на подложках 6.
Выполняя распыляемый катод из плоских колец различного диаметра и располагая эти 10 кольца на одной оси с подложкодержателем на различном расстоянии от него, можно корректировать толщину напыляемых пленок на площади, сравнимой с площадью катода, вследствие того, что можно регулировать 5 распыление каждого кольца в отдельности.
Распыление каждого кольца в направлении к центральной части подложкодержателя будет монотонно уменьшаться, так как расстояние от колец до подложкодержателя в 0 направлении к центру подложкодержателя уменьшается, вследствие чего уменьшается ионная бомбардировка колец в направлении к центральной части подложкодерн ателя.
Два эффекта - граничная потеря распыленного материала и монотонное уменьшение ионной бомбардировки катода в направлении к центральной его части - дают равномерную толщину пленки на площади, сравнимой с площадью катода. 0
Предмет изобретения
Устройство для нанесения пленок катодным распылением, содержащее газоразрядную камеру, внутри которой размещены катод, анод и подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности толщины пленок, катод выполнен в виде плоских соосных с подложкодержателем колец разного диаметра.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для нанесения покрытий в вакууме | 1991 |
|
SU1832134A1 |
УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ | 1992 |
|
RU2046840C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ | 1971 |
|
SU290065A1 |
Газоразрядное распылительное устройство на основе планарного магнетрона с ионным источником | 2020 |
|
RU2752334C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ | 1993 |
|
RU2075539C1 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ АЛМАЗОПОДОБНОГО УГЛЕРОДА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2013 |
|
RU2567770C2 |
СПОСОБЫ, ИСПОЛЬЗУЮЩИЕ УДАЛЕННУЮ ПЛАЗМУ ДУГОВОГО РАЗРЯДА | 2013 |
|
RU2640505C2 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ | 1971 |
|
SU315723A1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ЗАЩИТНО-ДЕКОРАТИВНЫХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ | 1993 |
|
RU2065890C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ | 1973 |
|
SU396451A1 |
7У7777 - V777777i
2 2
Авторы
Даты
1972-01-01—Публикация