УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК КАТОДНЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ Советский патент 1972 года по МПК C23C14/38 

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известно устройство для нанесения пленок катодным распылением, содержащее газоразрядную камеру, внутри которой размещены катод, анод и подложкодержатель.

Однако, известное устройство не обеспечивает требуемую равномерность толщины напыленного слоя покрытия.

Целью изобретения является повышение равномерности толщины пленок.

Эта цель достигается тем, что в предложенном устройстве- катод выполнен в виде плоских соосных с подложкодержателем колец разного диаметра.

На чертеже показано предложенное устройство.

Устройство состоит из газоразрядной камеры , внутри которой размещены катод 2, анод 3 и цодложкодержатель 4. Катод выполнен в виде плоских соосных с подложкодержателем колец разного диаметра. Катод соединен с минусом источника постоянного напряжения, плюс которого подключен к аноду, которым служат стенки и основание газоразрядной камеры. Натекатель 5 служит для напуска рабочего газа в камеру.

ном случае аргона, давление повышают до (1.-г8) 10 - мм рт. ст. К распыляемому катоду прикладывают потенциал - (2-6) кв. Положительные ноны аргона ускоряются потенциалом катода и бомбардируют его. Выбитые атомы материала катода осал даются на подложках 6.

Выполняя распыляемый катод из плоских колец различного диаметра и располагая эти 10 кольца на одной оси с подложкодержателем на различном расстоянии от него, можно корректировать толщину напыляемых пленок на площади, сравнимой с площадью катода, вследствие того, что можно регулировать 5 распыление каждого кольца в отдельности.

Распыление каждого кольца в направлении к центральной части подложкодержателя будет монотонно уменьшаться, так как расстояние от колец до подложкодержателя в 0 направлении к центру подложкодержателя уменьшается, вследствие чего уменьшается ионная бомбардировка колец в направлении к центральной части подложкодерн ателя.

Два эффекта - граничная потеря распыленного материала и монотонное уменьшение ионной бомбардировки катода в направлении к центральной его части - дают равномерную толщину пленки на площади, сравнимой с площадью катода. 0

Предмет изобретения

Устройство для нанесения пленок катодным распылением, содержащее газоразрядную камеру, внутри которой размещены катод, анод и подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности толщины пленок, катод выполнен в виде плоских соосных с подложкодержателем колец разного диаметра.

7У7777 - V777777i

2 2