УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ Советский патент 1973 года по МПК C23C14/50 C23C14/36 

1

Изобретение отиоситея к области гианесения покрытий в вакууме л может быть пр-именено для получения тонких плеиок NreTO,ioM катодного распыления.

По основному авт. св. № 273616 известно устройство для катодного ра спыления, содержащее камеру с размещенными внутри нее катодами, анодами и подложкодержателями. Катоды выполнены в виде гребенки, заполняющей объем камеры, между зубьями которой, имеющими форму дисков, расположены дисковые подложкодержатели.

В тако.м устройстве наблюдается З1 ачите.1ьная .потеря распыляемого материала, происходящая за счет осаждения его на стенки разрядной камеры, что снижает производительность.

Цель изобретения - повыщение производительности.

Для этого устройство снабжено дополнительными подложкодержателями, выполненными -в виде ПОЛЫХ усеченных конусов и укрепленных между плоским.и подложкодержателями и катодами.

На чертеже представлено предлагаемое устройство для катодного распыления.

Устройство состоит )1з вакуумной камеры /, внутри которой расположены дисковые катоды 2 .11 дисковые подложкодержатели 3, заключенные в разъемный полый цил.и.ндр 4, выполненный в в.иде двух цилиндрических поверхностей. На внутренней по верхности цилиндра укреплены дополнительные подложкоде|ржатели 5, выполненные is виде полых усеченных конусов. Натекатель 6 служит для напуска рабочего газа в камеру /.

0

Устройство работает следующи.м образом.

Подложки крепят на подложкодержателях5 и 5. В камере / создают давление (2-5) -10 .1/Л1 рт. ст. Через натекатель 6 напуокают газ, например аргон, повыщая давление в .камере до (1-2) -10 лм рт. ст. К катода.м 2 прикладывают потенциал 4000 в. Для

о

получения пленок толщиной 1800-2000 А время нанесения 10-12 мин.

:)

Предмет изобретения

Ус1ройство для катодного распыления по авт. св. Л 273616, отличающееся тем, что, с целью повыи1ен.ия производительности, оно снабжено дополнительными подлол кодержателями, выполненными в виде полых усеченных конусов и укрепленными . плоскими подлож1кодерл ателями и като-да1ми.

f7/