ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО для ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК Советский патент 1972 года по МПК C23C14/56 

Изобретение касается техники нанесения покрытий в вакууме.

Известно шлюзовое устройство для вакуумных установок, содержапаее корлус, в тазах которого смонтированы шлюзовые ролики.

в известном устройстве при пропускаиии IB вакуумную камеру обрабатываемого материала необходимо создавать прижимные устройства ДЛЯ уплотнения роликами мест, не занятых пропускаемым материалом.

Цель изобретения - созда ние устройства с возможностью регулирования силы прижатия роликов в зависимости от толиишы пропускаемого Материала.

Это достигается тем, что ролики выполнены IB виде вала с оболочкой из эластичного материала, отстояш,ей от его поверхностн на расстоянии, не менее толн1,ины тропуокаемого материала, причем полость оболочки сообщена через отверстия в валу с регулятором давлепия.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 - то же, поперечный разрез. Шлюзовые ролики / и 2 смонтированы В пазах корпуса 3. Один из роликов 2 (выполпен в щиде вала с оболочкой 4 из эластичного материала, отстоящей от его поверхности на расстоянии, не менее толщины пропускаемого материала, причем полость 5 оболочки 4 сообщена через отверстия 6 и 7

iB валу с регулятором давления (на черт, не показан). Ролик 8, выполненный из любого твердого материала, постоянно прижат к роли1ку.2, тем самым исключая натекание между роликами. Зазоры 9 и 10, образующиеся в 1иазах корлуса, выполиены такими, что натекание в область высокого вакуума сведено К мииимуму. Торцовые части уплотнительных pOviHKOB уплотнены вакуумным антифрикциониым материалом //.

Материал, подлежаииш металлизации, ПОстунает в область высокого вакуума через плотно прилегающие один к другому роликн / и 2. В зависимости от толщииы пропускаемого материала 12 оболочка 4 дефор-мируется па требуемую величину таким образом, что ее дефор1мация происходит по ширине пропускаемого материала 12. В местах, не занятых иропускаемым материалом, ролики / и 2

плотно прилегают один к другому, препятствуя перетеканию воздуха в область высокого вакуума. В случае изменения толщины пропускаемого материала через отверстия 5 и 7 в иолость 5 напускается илн откачивается воздух, что ведет к увеличению или ослаблению Прижатия ролНКа 2 к роликам 1 н 8.