УСТРОЙСТВО для НАНЕСЕНИЯ ВАКУУМНЫХ ПОКРЫНА ДЕТАЛИnATtHTHO-rtXHH^IFGHi^H Советский патент 1972 года по МПК C23C14/24 

Изо|бретвние отноаится « области нанесения в.акуумных покрытий.

Известно устройств:о для нанесения ва;куумных покрытий на детали, содержащее камеры иредварительвой обработки, вакуум:ную камеру, внутри которой расноложены иснар;ители, откачную систему и блок электрообо,рудоваиИЯ. Однако известное устройство не обеопечи.вает получения равномерных покрытий.

Для получения рашломерных покрытий описываемое устройство она|бжено ка мерами на(паривания, выполненными с двойными стенками, внутренние поверхности котор,ых и-меют отверстия Д.ЛЯ прохождения паров испаряемого вещества, причем неред входо м в камеру иаПафивания установлен бункер дозатор, соединенный с камерой предварительной Обработки, а вдоль камер напаривания на наружной паверхности расположены электромагниты.

На чертеже представлено устройство, Общий вид.

Устройство содержит нредваритель,ной обработки / и 2, вак уумную «амеру 3, внутри которой расположены испарители 4, аткачную систему (на чертеже не показана), блок электрооборудов анйя (на чертеже не показан) и камеры напаривания 5 тл 6, выполненные с двойными стенками, внутренние поверхности которых имеют отверстия для прохождения паров испаряемого вещества, причем неред входом в камеру напаривания yicтановлен бункер - дозатор 7, соединенный с камерой предварительной обработки 2. Вдоль камер напаривания 5 ,и, 6 на наружной поверхности расположены электромагниты 8. Каналы 9 vi 10 соединяют межстеночиы-е полости камер напаривания 5 и 6 с :вак; умной

камерой 3.

Изделия, подлежащие обработке, засыпают в камеру /, которую закрываЮт крыщ«ой. В камере 1 создается требуемый вакуум, после этого открывают зат1вор //, и изделия

пересьшаются в нитающее устройство 12. Оттуда изделия равномерным потокам подаются в камеру 13 для очистки электродом 14 тлеющего разряда. Из камеры 13 изделия через питающее устройство 15 попадают в

камеру 2, в которой продолжается предварительная их обработка перед напариванием, состоящая из нагрева и дегазации изделий и последующего охлаждения до требуемой перед напариванием температуры. Из камеры

2 изделия попадают в бункер 7, а из него - в камеру напаривания 5, далее - в охлаждаемую камеру 16 на ленточный транспортер 17, в бункер 18, во вторую камеру напаривания 6, в камеру 19 для накопления обрабоBiO выводятся в а-тмосферу. Для вывода -изделий в а|ТМО;Сферу в промежуточной камере 20 создается ва1куум, одинаковый с вакуумом в камере 19, открывается затвор 21, изделия пересыщаются в камеру 20, затвор 21 закрывается, в камеру 20 впускается воздух И откры,вается крышка 22.

Равномерная обработка в.се. изделий в ка,мерах 13 и 2 обеспечивается соответствующим за|пол1непием этих камер, а также неремеш1И,ва.н,ием изделий при 1ПО(МОШ,.и продольных ребер, расположенных по наружному диаметру шнека.

Вещество для ио:крытия помещается в испа.рители 4. Так как вакуумная камера 3, каналы 9 и 10 и межстеночные полости камер наиариваиия 5 ti 6 представляют собой за,мкнутый 1вакуум;ный объем, стенки кото-рого нагреваются нагревателями 23 до температуры, при которой происходит интенсив1но.е исларение наиариваемого вещества, то в этом замкнутом вакуумном объеме создается давление насыщершы х паров, которые имеют выход из него через отверстия :во внутренних стенках камер напармвания 5 и б. Для обеслечения piasH о мерного наларивания изделия оо есех сторон отверстия,, через которые поступают пары .налариваемого вещества, расположены по всей внутренней inoiBepxHOCTH камер 5 .и 6. 0-бе стенки камер 5 и 6 изготовлены из немагнитного материала, так как электрОМагниты расположеиы со стороны атмосферы.

Выхснду пара напариваемого вещества из .камеры 5 или 6 через отверстие для ввода изделия лрепятствует слой изделий, ностояиiHo находящихся в бункере 7 или :18. Слой изделий, находящжхся в устройстве 15, служит .в качестве диафрагмы, разделяющей камерЫ с различными степенями разрежения. Выходу лара напариваемого вещества из ка1мерЫ 5 или 6 через отверстие для вы|вода изделий лрапятствует охлаждаемая поверхность, изготойлбнная ввиде вращающегося барабана 24 и р ааположенная под отверстием для вывода изделия. Вращающийся барабан 24 лереноёит падающие на него изделия дальше, а его холодная поверхность «ловит выходящие лз камеры иайаривания лары иапари:ва,емото вещества. Для создшшя донолнительньах преград вЫ|Ходу паров изделия на поверхности барабана 24 прохюдят через отверстия в ряде диафрагм, разделяющих замкнутые отсеки 25. При такой системе лыюзов МОлекулы нанариваемого вещества, отражаясь от горячих стенок камеры -напаривания 5 или 6 и отсеков 25, поладают на холодную поверхиость вращающегося барабана и на ней конденсИруЮтся.

Наларивание изделий в камере 5 или 6 1Про;иСходит во время их свободного лередвижения. При авободном ладении изделия время для наларивания далеко -недостаточно.

Для увеличения времени пребывания издеЛ|ИЙ в камере наиарива1ния вдоль камеры установлены электромагниты, которые создают лульсирующее электромагнитное поле.

Изделия, ладалолдие из булкера 7 или 18 в

камеру 5 или 6, лоладают в зону действия электромагнитного поля. Во время лодачи и.мпульса напряжения на электромагнит издалия лритягиваются к нему, а во время ослабления подаваемого на электромаГ|Нигг напряжения или паузы преобладающей силой, дейст1вующей на изделие, является сила тяжести. Чередование преобладающи|Х в данный момент вре.мени сил электромагнитного притяжения и тяжести увеличивает длину Лути

«парения изделий, ло сравнению со свободным падение.м, а следовательно, и время иапаризания.

Регулировкой силы магнитлого притяжепия В момент изменения на1иравления движения изделия можно увеличить или уменьшить смещение изделия вниз, а вместе с этим и Время пребывания изделия в камере. Траектория полета изделия в паправлении от одного электромагнита к другому также имеет

откло1ненне В1низ.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения ва куумных покрытий на детали,, содержащее камеры предварительной обработки, вак|уумную камеру, внутри которой расположены Иопарители, откачную систему и блок электрооборудования, отличающееся тем, что, с целью получеНИЯ равномерных покрытий, устройство снабжено камерами нана,ривания, выиолиенными ;С двойны.ми стенками,, внутренние поверхности а оторых имеют отверстия для прохождения лароВ испаряемого вещества, причем ие:ред входом в камеру нанаривания установлен бункер - дозатор, соединенный с камерой 11 редварптельиой обработки, а вдоль камер нанаривайшя па наружной поверхности рас|Положапы эле|КТ|ромагниты.

t 2

Jx

- - - -уаид. I

|,««а«« g , д|| д. II а , -г-.

/ J

д П п п о/л о П I

о о и ц I П

J о О о ц I

, р

1 %

k2f7 ей. .ft LQ-Q:3 Dl-Q-I

ЙЖПХШг

и и и и и J L 7

II и и и и о и J

- 5 5

.

-О и шг

4