УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Советский патент 1968 года по МПК C23C14/38 

Известно устройство для нанесения покрытий Б вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которой расположен барабан с деталями, испаритель и электрод тлеющего разряда, откачную систему и бак электрооборудования. В этом устройстве электрод тлеющего разряда и испаритель не взаимосвязаны, что усложняет конструкцию вакуумНой камеры.

Предложенное устройство позволяет упростить конструкцию. Для этого электрод тлеющего разряда расположен иод испарителем и служит одновременно ноддоном-экраном.

На чертеже иредставлено описываемое устройство.

Устройство состоит из вакуумной камеры 1, крышки 2, каретки 3, которая вместе с барабаном 4 может иерекатьшаться ла транспортную тележку 5 для транспортировки на иерезарядку; привода 6 для вращения в камере барабана во время напыления, защитного экрана 7у входа патрубка откачной системы, плоскости электрода 8 тлеющего разряда, сменного испарителя 9 периодического действия и иульта управления 10.

Барабан 4 заряжают подготовленными для напаривания деталями и вкатывают с тележки 5 в камеру /. Затем в -камере закрепляют заряженный испаритель периодического действия, крышку камеры закрывают, и начинается процесс напаривания.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которой расположен барабан с кассетами, испаритель, электрод тлеющего разряда, откачную систему и блок электрооборудования, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, электрод тлеющего разряда

расположен под испарителем и служит одновременно поддоном-экраном.