Изобретение относится к области радйодвталестроения и может быть использовано для изготовления ряда радиотехнических устройств и деталей, иапример термо- и фоторезисторов, электролюминесцентпых панелей и экранов электроннолучевых приборов.
Известны способы нанесения порошкообразпого материала на подложку, панример люминофоров, на экраны кинескопов путем создания электрического поля между распылительной площадкой и подложкой и подачи порошкообразного материала на распылительную илощадку.
Недостатком известных способов является малая плотиость покрытия.
С целью повышения плотности покрытия по предлагаемому способу между распылптельной площадкой и подложкой создают вакуум с остаточиым давлением меньше 5 Л1М рт. ст.
При отсутствии газовых молекул в объеме частипы развивают значительно большие скорости, чем в воздушной среде нрн нормальном атмосферном давлении, а при высокой электрической прочности вакуумных промежутков используется более высокая напряженность электрического поля, чем на воздухе. Сочетание высокой нанряженностн электрического поля и отсутств}1е тормозящих сил придает частицам большие скорости, чем на воздухе. Частицы достигают поверхность осаждения, обладая большой скоростью, внедряются в поверхность слоя, что и обеспечивает получение порошковых покрытий высокой плотности.
Предмет изобретения
Электрофоретнческий способ нанесения порошкообразного материала на подложки, например люминофоров, па экраны кииескопов путем создания электрического поля между распылительной площадкой н подложкой и подачи порошкообразного NiaTCриала на распылительную площадку, отличающийся тем, что, с целью повышения плотности покрытия, .между распылительной площадкой н подложкой создают вакуум с остаточным давленпем меньн1е мм рт. ст.
