ВСЕСОЮЗНАЯ1В. Ф. Миусков, А. В. Миренский и Ю. Н. Шилинбюро института кристаллографии АН СССРnATEKTHO-TCXIHfVEGKAl Советский патент 1973 года по МПК G01N23/207 

РЕНТГЕНОВСКАЯ КАМЕРА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ДЕФЕКТОВ КРИСТАЛЛОВ

1

Изобретение предназначено для исследования или контроля распределения дефектов внутри кристаллов без их разрушения и может найти применение при изучении различных кристаллов, в особенности кристаллов полупроводников и кристаллов, используемых в квантовой радиоэлектронике.

Известны приборы для исследования распределения дефектов в кристаллах теми или иными рентгенодифракционными методами - Лапга, Бормана, монохроматического пучка, отраженного от одного или нескольких кристаллов - монохроматоров. Однако развитие рентгенографических методов исследования кристаллов потребовало создания нового прибора, который позволил бы исследовать один и тот же кристалл на одной установке различными методами, то есть более полно выявить картину распределения дефектов кристалла и повысить точность установления степени совершенства кристалла. Указанная цель достигается с помош,ыо прибора, который позволяет проводить исследования одного и того же образца кристалла различными методами- методами Ланга, Бормана и монохроматического пучка без переюстировки исследуемого кристалла на приборе, что дает возможность получать сопоставимые данные как о распределении дефектов кристалла по

его поверхности и объему, так и о количественных характеристиках этих дефектов.

Конструктивное выполнение прибора представлено на чертеже.

Пучок рентгеновских лучей, излучаемый острофокусной трубкой, после формирования щелевым коллимирующим устройством / и кристаллом-монохроматором 2 попадает на

исследуемый кристалл 3. Исследуемый кристалл закреплен в гониометре-кристаллодержателе 4, который имеет две оси вращения. Одна из осей параллельна пучку рентгеновских лучей (интервал вращения 360°), а другая - перпендикулярна этому пучку (интервал вращения ±5°). Дифрагированный от исследуемого кристалла рентгеновский пучок регистрируется детектором излучения 5 (счетчик излучения или кассета с фотопленкой).

Сканирующее устройство 6 сообщает гониометру-кристаллодержателю возвратно-поступательное движение в направлении, перпендикулярном первичному пучку, и колебательное движение вокруг оси главного гониометра

(качание кристалла).

Главный гониометр 7 с устройствами, которые он несет на себе, размещен на поворотном столе 8 с возможностью радиального перемещения, а держатель кристалла-монохроматора установлен на оси стола.

Предмет изобретения

Рентгеновская камера для исследования дефектов кристаллов, содержащая главный гониометр, на котором смонтированы коллимирующее устройство, гониометр-кристаллодержатель исследуемого образца, сканирующее устройство, щторная щелевая диафрагма

и детектор излучения, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности количественного определения характеристик дефектности кристаллов, главный гониометр .размещен на поворотном столе с возможностью радиального перемещения, а камера снабжена кристалломмонохроматором, держатель которого установлен на оси стола.