УСТРОЙСТВО для ТРАНСПОРТИРОВКИ и СМЕНЫ ПОДЛОЖЕК в ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХ Советский патент 1973 года по МПК C23C14/50 

Изобретение касается микроэлектронной техники и может быть использовано при применении вакуумной технологии для изготовления тонкопленочных блоков микроэлектроники.

Известны устройства для транспортировки и смены подложек в вакуумных установках, содержащие выполненный в виде диска держатель подложек, размещенных в кассетах, стапельный магазин с кассетами, механизм съема и укладки кассет и механический привод.

Целью изобретения является упрощение конструкции устройства и повышение его надежности.

Для этого предложенное устройство снабжено механизмом захвата кассет из магазина, выполненным в виде упруго закрепленных на нижней плоскости держателя П-образных рамок, снабженных скосами для захвата кассеты и роликом, взаимодействующим с кулачком, связанным с механическим приводом. Механизм съема кассет выполнен в виде подпружиненного рычага, одно плечо которого снабжено скосами для съема кассеты, а другое взаимодействует с кулачком. Механизм укладки кассет выполнен в виде стержня, расположенного под держателем перпендикулярно под держателем перпендикулярно к его плоскости и служащего для нанизывания готовых кассет.

На фиг. 1 показана кассета с закрепленной на ней подложкой; на фиг. 2 - карусельный держатель кассет с подложками, вид снизу; на фиг. 3 - держатель и сопряженные с ним

подающий магазин и .приемник кассет, разрез. Подлежащие обработке подложки 1 закреплены в рамоЧ.ных кассетах ., снабженных пазами 5 и вырезами 4. Кассеты 2 уложены в виде вертикальной стопки 5 в неподвижный корпус

магазина 6, снабженного передвижной в вертикальном направлении палкой-подавателем 7, которая при помощи груза 8 прижимает стопку 5 кассет к неподвижному козырькуограничителю 9. Для предохранения от случайного или преждевременного смещения верхней кассеты в стопке 5 имеется удерживающая ее тормозная пружина 10. Над магазином 6 расположен поворотный диск-держатель //, в рабочих позициях которого имеются

окна 12 и захваты 13, подвещенные на пружинах 14, выполняющих роль щарниров. Захваты 13 прижаты к нижней поверхности дискадержателя 11 прижимными пружинами 15 и снабжены кронштейнами с роликами 16. Передние кромки захватов 13 имеют заходные фаски 17. Между магазином 6 и осью поворота диска-держателя // расположен в направляющих 18 передвижной кулачок 19, связанный с механическим вакуумным вводом 20.

Кулачок 19 кинематически связан с поворотным упором 21, снабженным возвратной пружиной 22. Для ограничения крайних положений имеются два неподвижных упора 23 и 24. На неподвижной стойке 25 закреплен стержень 26, заостренный конец которого направлен вертикально вверх и принимает обработанные кассеты.

Для загрузки кассет 2 из магазина 6 в дискдержатель 11 кулачок 19 поднимают при помощи механического вакуумного ввода 20 до упора 24 и поворачивают диск-держатель // в направлении стрелки А. При этом ролики 16, обкатывая снизу кулачок 19, отклоняют захваты 13 вниз. Перемещаясь в направлении стрелки, передние кромки захвата 13 заходят в боковые пазы 5 верхней в стопке 5 кассеты, и преодолевая сопротивление пружины W, выводят кассету из стопки. По окончании воздействия кулачка 19 на ролик 16 захват 13 под воздействием пружины 15 поднимается и прижимает кассету 2 к нижней поверхности диска держателя 11, придавая ей положение Б.

При дальнейшем повороте держателя аналогично заполняют все рабочие позиции дискадержателя П, .после чего кулачок 19 переводят в нейтральное положение В. При этом держатель может свободно вращаться, не взаимодействуя ни с магазином 6, ни с упором 11. Для выгрузки обработанных подложек / из диска-держателя 11 кулачок 19 опускают в нижнее положение Г, в результате чего упор 2/ поворачивается в положение Д, а диск-держатель 11 проворачивают в направлении стрелки Е. Кассеты 2 наталкиваются на поднятый упор 21 и при дальнейшем проворачивании диска-держателя 11 сходят с захватов 13 и подаются вниз, нанизываясь вырезами 4 на приемный стержень 26. Для предохранения кассет 2 от излишне резких ударов о стойку 25 или одна о другую.стержень 26 имеет плавный изгиб. После операции выгрузки диск-держатель 11 может быть вновь заполнен кассетами из магазина 6.

Предмет изобретения

1.Устройство для транспортировки и смены подложек в вакуумных установках, содержащее вЫПолненный в виде диска держатель подложек, размещенных в кассетах, стапельный магазин с кассетами, механизм съема и укладки кассет и механический привод, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности устройства, оно снабжено механизмом захвата кассет из магазина, выполненным в виде упруго закрепленных на нижней плоскости держателя П-образных рамок, снабженных скосами для захвата кассеты и роликом, взаимодействующим с кулачком, связанным с механическим приводом, а механизм съема кассет выполнен в виде подпружиненного рычага, одно плечо которого снабжено скосами для съема кассеты, а другое взаимодействует с кулачком.

2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что механизм укладки кассет выполнен в виде стержня, расположенного под держателем перпендикулярно к его плоскости и служащего для нанизывания готовых кассет.

Фиг. 2 -.g777.,p,./ .. ... w /2 75 76