РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК ХРОМА Советский патент 1973 года по МПК C23F1/02 C23F1/26 

Изобретение относится к обработке поверхности Металлов химически.ми способами, в чаCTtto-сти к технологии изготовления приборов электронной тех1НИ1ки и мож-ет быть применен

при ИЗ;ГОТ01ВЛеНИИ фотошаблонов с МИКр01ННЫми и субмикронгньгми шт;р|Ихами.

Известен раствор для избирательного травленвя плено К хрома с использованием металлического акти1ватора, 1со1держащий солящпо Кислоту.

Предлагаемый распвор отличается от известного тем, что в егоСостав вВеден 50%-ный раствор натриевой соли диэтилгексилового эфира сульфоянтарной кислоты в количестве 0,5-5% от объема ра-ст/вора соляной кислоты, что позволяет увеличить воапроизводимость и точность при получении .рельефа с микронными размерами и обеспечивает получение .рельефа МВталла с субмякронными размерами.

Раствор содержит соляную кислоту и 50%-ный раствор натриевой соли диэтилгексилового эфира сулыфоянтарной 1кИСлоты в количестве 0,5-5% от объема соляной кислоты.

Процесс тра1вления протекает равнОМерно и поддается регулировке и,з1мвненивм колцентраЦии кислоты и добааки.

Для проведения процесса травления рекомевдуют применять 20-37%-ный распвор солямой кислоты. Избирательное травление пле}юк iB предлагаемом растворе проводигся следующим образом.

ПластиНу 1C храмовой пленкой, на которую нанесеН защитный рисунок, погружают в данный раствор. Участок хромовой пленки, не защищенный фоторезистором, приводят в контакт с алюминиевым или цинжавым стержнем на 5-6 сек, затем стержень убирают и выдерживают пластину в растворе до полного стравливания хрома. Время полного стравливания хрОМовой пленки толщиной 0,12 мк.и составляет 1 мин 20 сек.

В случае неполиОГо стра1вли1ва1ния хрома пластина по мещается в раствор того же состава с добашкой алю миниевой стружки в количестве 10-20 г на липр раствора. Дотравливание производится ПО истечении 8-10 мин со времени введенная стружки. Необходимость 1контакта в это.м случае отпадает. В растворе с алюминиевой Стружкой пластина вьгдер:живается 20-30 сек.

Предмет и з о б р е т ен и я

25

PacTiBOip для избирательного травления )плено к хрома с использованием металлического активатора, содержащий соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью увеличения В0опроиз(вадимости и точности при получении 30 рельефа с микрон-ньгми размера-ми, в его со34

став введен 50%-ный расшор натриевой соли кислоты в количестве 0,5-5% от объема расдиэтилгексило вого эфира оульфоянтарнойтвора соляной кислоты.

378564