Раствор для избирательного травления пленок хрома Советский патент 1975 года по МПК C23F1/02 

1

Изобретение относится к технологии химической обработки пленок хрома, может быть использовано при изготовлении прецизионных хромированных фотошаблонов.

Известен раствор для избирательного травления пленок хрома, содержащий сернокислый церий и окислитель.

Цель изобретения - уменьшение растравливания краев пленки, повышение выхода годных пленок и снижение рабочей температуры раствора.

Предлагаемый раствор отличается тем, что в качестве окислителя использован хромовый ангидрид при следуюшем количественном соотношении исходных компонентов (г/л):

Церий сернокислый5-160

Хромовый ангидрид30-100.

Сернокислый церий и хромовый ангидрид растворяют в воде при перемешивании. Чтобы улучшить растворение сернокислого церия, продлить срок хранения раствора без выпадения осадка, в него можно ввести кислоту, например соляную, в количестве 10- 30 г/л, или смесь кислот.

При обработке в растворе не растравливаются края пленки хрома при использовании фоторезистов с различной кислотостойкостью, не надо нагревать раствор, повышается выход годных фоторезистов.

Характеристика вариантов раствора: Дерий сернокислый, г5

Хромовый ангидрид, г40

Вода, лдо 1

Температура обработки, °С 18-20 Время полного стравливания хромовой пленки толщиной 0,08 мкм, мин14

Церий сернокислый, г160

Хромовый ангидрид, г 70

Вода, лдо 1

Температура обработки, °С18-20 Время полного стравливания хромовой пленки толщиной

0,25 мкм, мин2

Церий сернокислый, г40

Хромовый ангидрид, г 30

Кислота соляная, г10

Кислота серная, г20

Вода, лдо 1

Температура обработки, °С18-20 Время полного стравливания хромовой пленки толщиной

0,25 мкм, мни7

Предмет изобретения

Раствор для избирательного травления плеок хрома, содержащий сернокислый церий и кислитель, отличающийся тем, что, с 3 целью уменьшения растравливания краев пленки, повышения выхода годных пленок и снижения ..рабочей температуры раствора, в «ка-ч«ст-ве бкислителя использован хромовый 4 ангидрид при следующем количественном соотношении исходных компонентов (г/л): Церий сернокислый5-160 Хромовый ангидрид30-100.