СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА1 Советский патент 1973 года по МПК G03F7/04 G03F7/39 

Описание патента на изобретение SU379110A1

В покрытия могут быть введены различные добавки, например красители или пигменты.

Для изготовления литографской печатной пластины полимерный материал наносят на подложку, например на анадированную: алюминиевую подложку, и экспонируют светом дуговой лампы через соответствующий негатив.

После экспозиции литографскую пластину проявляют, используя раствор щелочи. Ее можно лакировать, чтобы сделать места с изображением более стойкими к износу на печатном станке. Затем она может быть наложена на литографский печатный станок и использована для получения отпечатков.

Кроме того, может быть получен фоторезист с Применением не ме«ее одного из полихинондиазидов и различных пленкообразующих смол. Например, пленкообразующей смолой может быть фенолформальдегидная смола. Отношение веса полихинондиазида к весу смолы 1:1,5-1:20, особенно хороший результат -получают при весовом соотношении 1:5- 1 : 10. Количество щелочи, которое необходимо для обмотки эжспонированного фоторезиста, зависит от отношения полихинондиазида к смюле. Полихинондиазиды можно смешивать в любом соотношении с пленкообразующим материалом для получения непроводящих, кислотоупорных или литографских Miaтериалов. Если полихннондиазид смешивают со светочувствительной смолой, это ведет к увеличению чувствительности к актиничному свету.

При применении предлагаемых полимеров для фоторезистов неэкспонироваННые полимеры обладают лучщим сопротивлением к щелочной среде, чем известные материалы, которые требуют более жестких условий проявления.

По сравнению с известны-ми позитивными фоторезистами, стойкими лищь в кислотных травильных ваннах, предлагаемые фоторезисты обладают высокой щелоче- или кислотостойкостью.

В качестве растворителей для предлагаемых светочувствительных полимеров предпочтительны органические 1растворители, способные растворять, по Крайней мере, 0,2 вес. % используемых светочувствительных полимеров, но не вступающие с ними в реакцию и преимущественно не разрушающие используемых подложек.

Рекомендуется включать в покрывные растворы материалы, которые могут способствовать улучшению пленкообразования, адгезии покрытий к подложкам, механической т(рочности, например смолы, стабилизаторы и поверхностно-активные вещества. Хорошие результаты получают на покрытиях, содержащих 0,1-50 вес. ч. смолы па 1 вес. ч. светочувствительного материала.

Фотографические материалы экспонируют обычными методами с помощью источника актиничного света. Экспонированные материалы затем проявляют, промывают, закатывают краской или подвергают светочувствительные слои обработке растворителем, который поразному растворяет экспонированные и неэкспонированные места, удаляя те из них, которые не изменились под действием света. Получаемое изображение затем обрабатывают любым известным способом в зависимости от назначения (например, десенсибилизирующими протравами или лаками для фотопластин).

Предлагаемые полимеры могут быть применены для получения везикулярного изображения смешением не менее одного полихинондиазида с подходяшим полимерным связующим.

Наиболее успешно можно использовать полимеры, например поливинилхлорид, сополимеры винилхлорида и винилацетата, поливинилиденхлорид, сополимеры винилхлорида и винилиденхлорида, оолиметилметакрилат, сополимеры -метилметакрилата, полистирол, поливиниловый спирт, поливинилацетали и сополимеры винилового спирта с поливинилбутиралем. Термопластические материалы непрозрачного слоя должны иметь достаточно низкую газопроницаемость для того, чтобы газ, выделяющийся при разложении хинондиазида, задерживался в термопластической матрице. Желательно, чтобы количество полихинондиазидов равнялось 1-50 вес. % от количества полимерных связующих, предпочтительно 10-30 вес. %. Пример 1. Получение гомополимера

л-аминостирола.

1 моль га-аминостирола растворяют в 500 диоксана и добавляют 3,5 г 2,2-азобис-(2-.метилпропионитрила). В раствор пропускают азот в течение 30 мин. Температуру поднимают до 85°С в паровой бане и смесь перемешивают в течение 16 час. Полимер осаждают в эфире.

Пример 2. Получение диазосульфамида из гомополимера «-аминостирола.

(Гомополимер п-аминостирола, полученный в примере 1 (4,4 г, 37 ммоль), растворяют в 50 мл диоксана и затем добавляют к 10 г (37 ммоль) 1,2-нафтохи-нондиазид-5-сульфохлорида, растворенного в 75 мл диоксана. Насыщенный раствор бикарбоната натрия прикапывают к перемешиваемой реакционной смеси до получения щелочного раствора.

Реакционную смесь добавляют к 10-кратно разбавленному избытку соляной кислоты

(0,1%) при быстром перемешивании. Желтый полимерный материал фильтруют и про-мывают водой.

Прим1ер 3. Получение сополимера п-аминостирола со стиролом.

10 г tt-аминостирола смешивают с 30 г стирола и растворяют в 40 мл ледяной уксусной кислоты. Колбу продувают азотом в течение 30 мин, затем добавляют 50 мг 2,2-азобис(2-метилпр01пионитрИла) и погружают в баню

при 50°С. В течение 2 час добавляют 2 порции 2,2-азОбис-(2-метилпропионитрила) весом более 100 жг и реакционную смесь выдерживают При 50°С в течение 16 час. Продукт по каплям выливают в 2 л эфира, осадок фильтруют и СО-полимер промывают 5 раз эфиром Выход 4,5 г. Содержание азота в сополимере составляет 10,5%, которое определяет соотношение элементарных звеньев стирола и /г-аминостирола, составляющих цепь сополимера, равное 1:7,5. Инфракрасные спектры подтверждают это заключение.

Пример 4. Получение светочувствительного сополимера на основе диазосульфамида и п-аминостирол-стирольного сополимера.

Сополимер стирола и п-аминостирола, получаемый как в примере 3, растворяют в 30 мл диоксана и добавляют к 4,7 г 1,2-нафтохинондиазид-5-сульфохлорида, растворенного в 30 мл диоксана. Насыщенный раствор бикарбоната натрия медленно приливают до рН 8. Реакционную смесь п-рикапывают в 1500 мл 0,1%-ной соляной кислоты, желтый осадок фильтруют и промывают водой.

Пример 5. Приготовление полидиазоамидов путем реакции аминостирол-стирольных сополимеров с 1,2-1нафтохинон-2-диазид-3-карбоксихлоридом.

п-Аминостирол-стиролыный сополимер, приготовленный как в примере 3, растворяют в диоксане и затем добавляют к эквимолекулярному «оличеству 1,2-нафтохинон-2-диазид3-карбоксихлорида, растворенного в диоксане. К п-еремещиваемой реакционной смеси прикапывают пиридин до тех лор, пока раствор не станет основным. Реакционную смесь добавляют к 20-кратному избытку разбавленной соляной кислоты (0,1%) При сильном перемешивании. Полимерный материал фильтруют, промывают несколько раз водой и сушат на воздухе при комнатной температуре.

При MI ер 6. Сополимеризация метилметакрилата и /г-аминостирола.

(I моль метилметакрилата, 1 моль /г-аминостирола и 3% от веса мономеров 2,2-азобис(2-метилпропио1нитрила) помещают в круглодонную колбу, снабженную мещалкой и трубками для ввода и вывода азота. В реакционную смесь пропускают азот в течение 30 мин. Реакционную колбу погружают в баню с тем1пературой 85°С на 6 час. Сополимеры хранят в холодильнике до проведения реакции с аминогруипами, как описано в примере 7.

Моиомер метилметакрилата для описан-ной реакции повторно промывают 5%-ной гидроокисью натрия, затем его промывают дважды водой с последующим двукратным промыванием насыщенным раствором бисульфата натрия в воде. Окончательно его промывают еще два раза водой, сушат над двуххлористым кальцием и затем подвергают фракционной перегонке при пониженном давлении, т. кип. 45°С/90 мм рт. ст. Очищенный продукт хранят в холодильнике до использования.

Пример 7. Получение сополимеров из полидиазосульфамидов и метилметакрилат-паминостирола.

Сополимер п-аминостирола и метилметакрилата, приготовленный как в примере 6, растворяют в диоксане и затем добавляют к эквимолярному «оличеству 1,2-пафтохи1нондиазид5-сульфохлорида, растворенному в диоксане. Насыщенный раствор бикарбоната натрия прикапывают к перемешиваемой реакционной смеси до тех пор, пока раствор не станет щелочным. Реакционную смесь выливают в 20-кратный избыток разбавленной соляной кислоты (0,1%) при сильном перемешивании. Полимерный М1атериал фильтруют, промывают неоколько раз водой и сущат на воздухе при комнатной температуре.

Пример 8. Положительно заряженная литографская печатная пластина. Готовят следующий состав: Сополимерный п-аминостирол-стиролсульфамид нафтохинондиазид - 5 - сульфохлорида, г1,25

Циклогексанон, мл, 50

Ацетон, мл50

Состав Наносят вихревым способом на анодированную алюминиевую подложку, обработанную карбоксиметилцеллюлозой со скоростью 78 об/мин в течение 15 мин, затем еще в течение 2 мин струей теплого воздуха и еще в течение 10 ман при 40°С. Пластину с нанесенным покрытием подвергают экспозиции «а расстоянии 152,5 см от дуговой лампы (95 а) в течение 2-3 мин.

После экспозиции -пластину проявляют в водно-щелочном проявителе. Пластику промывают водой и вытирают досуха. Световые отпечатки легко удаляются. Для нейтрализации щелочного проявителя применяют разбавленный раствор кислоты и -пластинку вытирают опять досуха. Наносят раствор гуммиарабика и изображение окращивают вручную с помощью типографской краски. На печатной мащине получают десять тысяч отпечатков с небольшим ухудщением качества изображения по мере увеличения тиража.

Пример 9. Дополнительная инертная .

Добавку инертных щелочерастворимых смол К светочувствительному полимеру осуществляют При получении специальных кислотосодержащих покрытий. Стекловидные покрытия С высоким содержанием твердого вещества, обладающие кислотостойкостью, требующейся при травлении пластип, могут быть ползчены следующим образом.

Первый раствор получают путем добавления 40 г крезолформальдегидной смолы к 100 мл монометилуксусного эфира этиленглиКОЛЯ1. Готовят второй раствор, содержащий 20 г полимера, полученного как в примере 5, в 100 мл монометилуксусного эфира этиленгликоля. Затем приготавливают смесь двух растворов, состоящую из 2 ч. раствора крезолформальдегидной смолы и 1 ч. раствора светочувствительного полимера, и наносят эту смесь «а поверхность 1медной пластины в виде непрерывиого слоя нужной толщины. Покрытие сушат при .ком натной температуре и затем при 75°С в течение 30 ман. Высушенное покрытие подвергают экспозиции через трафарет дуговой лампой в течение 2-5 мин при интенсивности 2000 св. Изображение проявляют в растворе, содержащем 1,3% едкого натра, в течение 2-3 мин для удаления экспонированных участков изображения.

Полученную пластину можно подвергать травлению в растворе хлорида железа (42° Be) без спекания.

Даже после 1-2 час пребывания покрытия в травильном растворе не происходит разрушения изображения. Травлепие лри 50°С можно осуществлять без обратного воздействия на изображение. Для увеличения кислотостой(кости слоя светочувствительные полимеры можно смешивать с другими ииертпыми смолами, например с хлорированным каучуком, феноксидными смолами и хлорированными бифенилами.

Пример 10. Фоторезисты.

Позитивные фоторезисты для использования их в кислых травильных ваннах готовят на основе светочувствительного -полимера, полученного в примере 5, в виде следуюн ей композиции:

Полимер10 г

Циклогексан80 мл

Ацетон20 мл

Состав наносят вихревым спосо бом со скоростью 78 об/мин в течение 10 мин на медный лист площадью 9,8X12,3 см, предварительно промытый ацетоном. Покрытие сушат 5 мин при 75°С. Полученное Покрытие не содержит

ПОЛОС и имеет зер кальную поверхность. Покрытие экспонируют дуговой лампой интенсивностью 200 ев - 5 мин. Изображение проявляют в 2%-1Ном раСтворе щелочи. После промывки водой и сущки получают изображение с хорошей зер-кальной поверхностью и ад.гезией. Пластинку затем подвергают травле.нию в хлористо.м железе на глубину 1,5 мм без нарушения изображения.

Пример И. Добавочная несветочувствительная хлорированная бифенильная смола. Добавка хлорированной бифенильной смолы к Светочувствительным полимерным хинондиазидам из примера 5 расширяет возможности проявления .в проявителе с различной концентрацией щелочи.

Композиция А для слоя фоторезиста содержит:

Полимер (из примера 5)4 г

о-Крезолформальдегидная

смола -23 г

100%-наЯ фенольиая смола, пе отверждаЮщаяся при «агревании11 г

Монометилуксусный эфир

этиленгликоля9,3 мл

4-Бутиролактон7 мл

Состав В, кроме указанных веществ, содержит 0,4 г хлорированного бифенила и 0,2 г М1алоновой кислоты.

Па медные пластины наносят покрытия из указанных растворов вихревым способом. Сущку производят при 75°С в течение 30 мин. Пластины готовят и сушат при 75 и 9-0°С в течение 30 мин, затем экспонируют дуговой лампой интенсивностью 2000 ев в течение 4 мин. Результаты проявления в водных растворах едкого натра с различной концентрацией в течение 2 мин приведены в таблице.

Похожие патенты SU379110A1

название год авторы номер документа
Предсенсибилизированная литографская пластина 1972
  • Кейт Эдвард Дахлман
SU470977A3
ПРОЯВИТЕЛЬ ДЛЯ ЛИТОГРАФСКИХ ПЛАСТИН 1973
  • Иностранцы Хисааки Фукуи Такетоси Араки Янони
SU374865A1
СУХОЙ ПЛЕНОЧНЫЙ ФОТОРЕЗИСТ 2000
  • Цейтлин Г.М.
  • Кузнецов И.В.
RU2190871C2
Позитивный фоторезист 1984
  • Сахарова Н.А.
  • Кабанова Э.А.
  • Челушкин Б.С.
  • Эрлих Р.Д.
  • Герасимов Б.Г.
  • Гуров С.А.
  • Перова Т.С.
  • Кузнецова О.И.
  • Мельникова З.Ф.
SU1217128A1
СУХОЙ ПЛЕНОЧНЫЙ ФОТОРЕЗИСТ 2000
  • Цейтлин Г.М.
  • Кузнецов И.В.
RU2190870C2
СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ МАТЕРИАЛ 1973
  • Авторы Изобретени Витель Иностранцы Карл Вильгельм Кристенсен Калвин Морис Исааксон Соединенные Штаты Америки
SU389670A1
СУХОЙ ПЛЕНОЧНЫЙ ФОТОРЕЗИСТ 2000
  • Цейтлин Г.М.
  • Кузнецов И.В.
RU2190869C2
СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ КОПИРОВАЛЬНЫЙ МАТЕРИАЛ 1973
  • Витель Томас Н. Гиллих Соединенные Штаты Америки
SU404288A1
Фотополимеризующаяся копировальная масса 1971
  • Раймунд-Йозеф Фауст
SU490301A3
ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ СОСТАВI2 1973
  • Ииоотраицы Фредерик Джозеф Раунер, Джозеф Антони Арсези Джон Раймонд Гилд Соединенные Штаты Америки
SU383334A1

Реферат патента 1973 года СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА1

Формула изобретения SU 379 110 A1

Качество изображения плохое, т. е, участки слоя после проявления.

Сравнительные результаты после 3 мин проявления также указывают на расщирение интервала концентрации проявителя, обусловленное добавкой хлорированных бифенилов. Такой же результат получают при введении фенокси-с.мол, например сополимера эпихлоргидрина и л,п-изопропилиденбисфенола.

Пример 12. Литографская пластина.

Отрицательно заряженную литографскую пластину, обладающую высокой . фотографической чувствительностью -и видимым при проявлении изобрал ением, получают -нанесением покрытия из светочувствительного цолихинонматовые и содержат полосы

диазида на анодирован-иую алюминиевую подложку.

Состав для покрытия: Светочувствительный полимер (пример 5), г1,5 Монометилуксусный эфир

этиленгликоля, мл95

4-Бутиролактон, мл5

Полученный раствор поливают на анодированный алюминиевый лист площадью 25,4Х Х38,1 сж вихр.евым способом. Дополнительная сушка происходит в течение 2 час при 35°С.

Высушенную пластину подвергают в течение 3 мин воздействию дуговой лампы интенсивностью 2000 ев через негативный диапозитив. В конце экспозиции можно легко различить изображение, так как светочувствительные места образуют очень светлое изображение желтого цвета на более темиом фоне. Пластину проявляют, наносят щеткой 4-бутиролактон для удаления неэк спонированных участкоВ. Адгезия св-еточувствительного полимера к алюминиевой поверхности очень хорошая. Пластинку затем обрабатывают разбавленным (2%-«ым) раствором щелочи с последующим травлением кислотой. Изображение окрашивают вручную литографской проявляю щейся краской и затем помещают в литографокий ггресс. Получают пятьсот отпечатков без ухудшения или с небольшим ухудшением -качества изображения. Пластина сохраняет Способность хорошо окрашиваться.

Пример 13. Позитивные изображения.

Позитивная система, дающая изображение, может быть получена с использованием светочувствителыного полихинондиазида и цветообразующей комПОненты.

На чистую полиэфирную подложку наносят раствор, содержащий:

2%-ный раствор полимера (из примера 5) в монометилуксусном эфире этиленгликоля, мл5

Резорцин, г0,07

Подложку с нанесенным покрытием сушат 5 мин при 75°С. Образуется светло-желтое Прозрачное покрытие. Пленку э-кспонируют дуговой лампой иитенсивностью 2000 ев в течение 4 мин. Экспонированные участки становятся бесцветными.Проявление в парах аммиака приводит К иоявлению изображения цвета темной горчицы, образующегося на неэкспонироваеных участках, в то время как фон остается светлым.

Пример 14. Получение пузырькового изображения на винилиденакрилонитрильном сополимере.

Светочувствительное покрытие, пригодное для получения пузырькового изображения, получают на чистой полиэфирной подложке следующим образом.

Состав для покрытия: Винилиденакрилонитриль«ый сополимер, г10

Продукт взаимодействия о-хинондиазидсульфохлорида с сополимером стирола и п-аминостирола (.получен как в примере 4), г2,1

Диоксан,

Ацетон,

Метоксиэтанол,

Этот раствор «аиосят слоем толщиной 0,02 см и суЩат при комнатной температуре. Па высушенном покрытии получают изображение при экспонировании в течение 3 мин дуговой лампой интенсивностью 2000 св. Изображение проявляют при 105°С в течение 4 сек. При рассматривании изобрал ений со стороны источника света они кажутся белыми, при использовании диапозитива для проекции изображения рассеивают свет их можно использовать как черно-белые диапозитивы. Подобные результаты получают при употреблении вместе со светочувствительным полихинондиазидОМ других термопластичных полимеров, включая поливинилхлорид, сополимеры винилхлорида и винилацетата, поливинилиденхлорид, сополимеры винилхлорида с винилиденхлоридом, сополимеры винилиденхлорида с акрилонитрилом, полиметилметакрилат, сополимеры метилметакрилата, поли-, стирол, поливиниловый спирт, поливинилацетали и сополимеры винилового спирта с винилбутиралем.

ТермОПластичный материал непрозрачного слоя обладает достаточно низкой газопроницаемостью, поэтому газ, выделяющийся при разложении соединения, остается в термопластичной матрице.

Пример 15. Позитивная литографская печатнаЯ пластина, содержащая инертную смолу в светочувствительном -покрытии. Готовят композицию состава: Сополиме,рный я-аминостирол-стирол-сульфамид нафтохинондиазид - 5 - сульфохлорида из выделенного сополимера (молярное соотношение 1 : 1,7)

Фенол форМ1альдегидная

смола, г1.75

Малоновая кислота, г0,008

Метоксиэтанол,

Монометилуксусный эфир

этиленгликоля,

Бутиролактон,

Раствор наносяТ вихревым способом со скоростью 80 об/мин на лист анодированного алюминия. Сушку производят около 20 мин при комнатной температуре, затем 15 мин при 80°С. Пластину экспонируют через позитивный полутоноВОЙ диапозитив и линейный объект при воздействии ультрафиолетового света. Экспонированную пластину промывают щеткой pacTBOpoMi, содержащим,

Изопропанол38

Триэтаноламин10

Глицерин15

Вода37

Il

Пластину подают на литографский пресс и .получают :более 40000 копий без признаков .ухудшения -качества изображения.

Предмет изобретения 1. Способ получения светочувствительного материала нанесением яа -подложку светочувствительного слоя, включающего полимер с хинондиазидными труппами и органический растворитель, отличающийся тем, что, с целью получения материала с широким диалазо-ном растворимости при проявлении, в качеств е полимера применяют полимер или сополимер аминостирола, содержащий повторяющиеся звенья

-( cf

N-R,

1

12

где Ri - атом водорода или м-етил;

1 2-атом -водорода или галогена, низший алкил или арил; Кз - атом водоро-да или алкил с числом атомов углерода 1--5;

X - сульфонильная или карбонильная

группа; D - хинондиазидный остаток.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения прочности, долговечности и/или сопротивляемости -по отно-шению к проявителю, в светочувствительный слой в;водят термопластичную пленкообразующую смолу в

количестве 1-50 вес. % от количества полимераили саполимера аминостирола.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, чтО в светочувствительный слой вводят связующее - фенолформ1альдегидную смолу.

SU 379 110 A1

Авторы

Известен Способ Получени Светочувствительнога Материала Нанесением Подложку Светочувствительного Сло Включающего Полимер Хиноидиа Зидными Группами, Присоединенными Цепи Полимера Через Атом Азота, Органический Растворитель Примен Соединени Нилового Акрилаты, Мета Крилаты, Стирол Цель Изобретени Получение Светочувствительного Материала Широким Диапазоном Растворимости При Про Влении Предлагаетс Качестве Полимера Примен Полимер Или Сополимер Аминости Рола, Содержащий Тювтор Ющиес Звень

Атом Водорода Или Алкил Числом

Груп Хинондиазид Ный Остаток

Повышени Проч Ности, Долговечности Или Сопроти Емости Отношению Про Вителю Светочувствительный Слой Ввод Термопластичную Плен Кообразующую Смо Количестве Вес Количества Полимера Или Сополимера Аминостирола

Предлагаемые Пленкообразующие Полиме Обычно Имеют Мол Подход Щими Этиленненасыще Нными, Способными Полимеризации Соединени Ми, Которые Огут Вступать Реакцию Сополимеризации Аминостиролом, Ютс Например, Сти Рол, Акрилаты, Винилгалогениды, Виниловые Эфиры, Винилкетоны, Эфиры Дивинила, Акрп Онитрил, Смешанные Амидоэфиры Малеино Ангидрид, Бутадиен, Изопрен, Хлор Опрен, Дивинилбензол, Производные Акрило Вой Мета Криловой Кислот, Например Нитрилы, Амиды Эфиры, Этилен Изобутилен Соотношение Мон Омеров Выбирают Ким Образом Чтобы Количество Аминостирола Состн Менее Веса Полученного Сопо Лимера

Даты

1973-01-01Публикация