УСТРОЙСТВО для КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ Советский патент 1973 года по МПК C23C14/36 

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть применено для .получения тонкопленочных микроструктур. Известно успройство для катодного распыления, содержащее вакуумную камеру, внутри которой ужреплены подложкодержатель, катоды-;мишвни и стойки для катодов, систему вводОВ и высоковольтный источник. Однако в известном устройстве катодымишени укреплены неподвижно в горизонтальной плоскости, что не позволяет получать равномерные покрытия на длинномерных подложках. Цель изобретения - повышение равномерности покрытий. Зто достигается тем, что каждый катод закреплен на кронштейне подвижно установленном на стойке, снабженной осью, на которой одним кон,цо,м шарнирно закреплена штанга, другой конец котО;рой шарнирно связан с системой вводов. На чертеже представлена конструкция предлагае.мого устройства. Устройство состоит из вакуумной камеры (на чертеже не показано), внутри котО|рой укреплены подлож1ко(держатель 1, катоды-мишени 2, 5, стойки 4, 5 для катодов, системы вводов 6, 7, высоковольтного источника 8. Каждый катод 2, 3 закреплен на кронштейне 9, подвиж.но установленном на стойке 4, снабженной осью W, на которой одним концом шарнирно закреплена штанга //, другой конец которой шарнирно связан с системой вводов 6. Устройство снабжено корпусом 12, жестко закрепленным на вер.хнем конце стойки 5, шарнирным механизмом 13, враи.аюшимся роликом 14. Шарнирный механиз м 13 расположен под углом к горизонтальной и вертикальной плоскостям, т. е. его оси .крепления расположены не на одной прямой, а одна )1з них смещена относительно другой в горизонтальной плоскости на заданное расстояние. На механизме 13 закреплена штанга 11 под углом а, которая свободным концом упирается в основание катода 2 и при своем движении его поднимает или опускает. Для уменьшения трения и обеспечения движения на свободном 1конце штанги 11 закреплен на оси ролик 14, имеющий 1наружную поверхность, закругленную по радиусу. Роли1к сво,бодно вращается на своей оси и своил наружным диаметром постоянно находится в сонрикосновении с нерабочей поверхностью основания катода 2. Вращение ролика происходит от соприкосновения с основание.м катода 2. Стойки 4, 5 расположены на одной прямой, но смещены одна относительно другой от центра плиты 15 на величину 1, чтобы катоды при