УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ Советский патент 1970 года по МПК C23C14/38 C23C14/40 

Известно устройство для катодного распыления, содержащее камеру с размещенными внутри нее катодами, анодами и подложкодержателями. В предлагаемом устрОЙстве катоды выполиены в виде гребенки, заполняющей объем Камеры, между зубьями которой, имеющими форму дисков, расположены дисковые подложкодержатели. Такое выполнение новыщает качество покрытия и при этом оптимально используется рабочее пространство камеры. На чертеже представлено предлагаемое устройство. Оно состоит из камеры /с размещенными внутри нее катодами 2 и подложкодержателяМ;И 3. Анодом служит камера. Катоды выполнены в виде гребенки, заполняющей объем камеры, между зубьями которой, имеющими форму дисков, расположены дисковые подложкодержатели. Герметичная камера откачивается до давления не более мм рт. ст. При помощи натекателя 4 в камеру вводится рабочий газ и давление повышается до 1-10 з-2-10 i мм рт. ст. К катодам из распыляемых материалов прикладывают потенциал 1-6 кв в зависимости от заданных электрофизически.х характеристик получаемых пленок. На подложкодержатели подают постоянное или переменное напряжение. Положительные ионы газа ускоряются потенциалом, прилол епным к катодам, и бомбардируют их. Происходит распыление материала катода, и распыленные атомы материала диффундируют через газ я разрядном промежутке и конденсируются на подложках. Предмет изобретения Устройство для катодного распыления, содержаи;ее камеру с размещенными внутри нее катодами, анодами и подложкодержателями, отличающееся тем, что, с целью улучнления качества покрытия и оптимального использования рабочего пространства, катоды выполнены в виде гребенки, заполняющей объем камеры, между зубьями которой, имеюгцими форму дисков, расположены дисковые подлож кодсржателн.

l.

у ЧЧУУУУХ 3