Л\ИКРОМАИИПУ.ПЯТОР Советский патент 1973 года по МПК B25J7/00 

1

Изобретение относится к области точной мехаиики.

Известны микромаиииуляторы с рабочим столоМ, устаиовленным с тремя степенями свободы в планках, привод которого выполнен в ВИде объемной гидра вличеоко11 передачи.

Предлагаемый мик-ромаиапулятор отличается от известных тем, что привод ра бочего стола выполнен в виде образованных в зазорах между поверхностями рабочего стола и планкам.и аэростатических (гидростатических) подушек, регулируемых ио толщине за счет изменения расхода газа (жидкости), причем система питания любых двух противоположно расположенных подушек выполнена дифференциальной.

Это обеспечивает получение точнгзтх мвкроперемешений.

На фиг. 1 и 2 изображена конструктивная схема предлагаемого ми1крома;нипулятора.

М1икромаиипулято:р содержит рабочий стол /, который вэвешен в трех замкнутых аэростатических (гидростатических) nanpaiBляюших, каждая из которых образована двумя .противоположно расположенными аэростатическими (гидростатическими) иодушкам 2 -к 3, 4 к 5, 6 и 7. Подушки 2 и 5 образованы в зазорах между рабочим столом и планками 8 и 9, подушки 4 п 5 - между рабочим СТОЛОЛ1 и планками 10 и 11, а подушки 6 и 7 - между рабочим столом и планками 12 и 13.

Устройства 14, 15, 16 регулирования расхода газа предназначены для изменения толнщн аэростатических (гидростатичеоких) подушек, соответственно 6 и 7, 4 5, 2 -и 3. Газ (жидкость), образующий аэростатические подушки, подается через каналы, имеющиеся в

плавках 8-13.

Микроперемещения рабочего стола возможны по трем координатам X, У, Z, перпендикулярно которым расположены пары подушек 2 и 3, 4 и 5, 6 п 7. На рабочий стол с

противоположных сторон действуют аэростатические (гидростатические) подушки с силами, равнодействующая которых равна нулю. При этом рабочий стол зафиксирован в данном положении.

При увеличении расхода газа (жидкости) в одной аэростатической (гиаростатичеокой) подушке (например, в третьей) и одновременном умепьн1еи.1П1 расхода газа (ж-идкости) в другой (iiaHipiiMcp, во второй) давление газа (жидкости) в аэростатической (гидростатической) подушке 3 увеличится, а в подушке 2 уменьшится. В результате этого нарушается равновесие сил, действующих на рабочий стол по оси X, и он начинает пере ещаться в сторону подушки 2. В результате