УСТАНОВКА ДЛЯ СКРАЙБИРОВАИИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ Советский патент 1973 года по МПК H01L21/00 

Изобрете11ие от| осится к электронной технике.

Известна установка для скрайбироваиия полуироводниковых нластин, содержащая координатный стол с шаговым нрнводом, резец с механизмом креиления, вакуумный паЧрон, механизм ориентании нолунроводииковой пластины, устройство совмещения полупроводниковой пластины с линией скрайбирования, выполненное в виде бинокулярной оптической системы с разнесенными полями зреиия. Эта система сложна по коиструкции, так как иеобходим механизм угловой ориентации всего устройства совмещения.

Целью изобретения является унрощеиие стаиов«и для скрайбировання полупроводниковых пластин и улучн1ение условий работы оператора.

Поставленная цель достнгается тем, что в механизме перемеи;еиия двуиольного оптического устройства совмещения полупроводниковой пластины с линией скрайбирования в одиой из кареток выполнен наклонный наз, взаимодействуюи1,ий с пальцем ползуна другой каретки. Обе каретки .механизма перемеИ1еиия имеют привод от винтов, расиоложеиных на одной оси.

Па фиг. 1 показана предложенная установка, общий вид; иа фиг. 2 - механизм перемещения двупольного оптического устройства,

2

Установка для скрайбироваиия нолупроиодииковых иластии (фиг. 1) содержит устройство совмеи1,ения / полупроводниковой иластииы с лииией скрайбирования, механизм перемещегпш 2 устройства совмеи1епия, резец с механизмом кренления .3, координат иый стол 4, вакуумный натрои 5, механизм ориентации 6 полупроводштковой пластины н механизм 7 подъема и опускапия резца.

Устройство совмещения / содержит об1)ективы 8 и 9, установленные в блоке //9, кото рый дгожет новорачиваться вокруг вертикаль1шй оси.

Мехаиизм 1еремен1,ения 2 устройства con л;ен1еиия вк.пючает в себя корпус II (фиг. 2) с 11аправляю1цими призмами /2, но которым неремещается горизоитальиая каретка /Л но средством ручки 14, винта 15 и гайки 16. Го ризонтальная каретка /,9 имеет иаправляю HU1C, по которым перемещается вертикальная каретка П с нанравляюнипи призмами /Л

По направляющим скалка.м 19 горизонтальной каретки /,9 иеремещается ползунок 20 с пальцелг 2/ и сухарем 2, взаимодействующим с иаклоииым иазо. каретки /7 и вызывающим вертикальиое ее перел;ен1еп и Перемещение ползунка 20 осуществляется посредством 23, виита 24 и гайки 25.

Каретка 17 n верхней части имеет паз, в icoTopOM перемещается и фиксируется оптическое устройство совмеи1,еиия /.

Устаиопка работает следующим образом.

Первоначально настраивают двунольное устройство совмен1,еиия / (фиг. 1) относительно линии реза, для чего на вакуумном натроне 5 закрепляют пробную нластипку п проводят па пей резном линию. После этого нере.мен1ают ручкой 2Л (фиг. 2) ползун 20, пален, 21 которого, взанмодействуя с наклонным пазом, неремен1ает каретку 17 с устройство совмеихепия / в вертикальном нанравjieinn-i, тем самым нзображенне настраивают на резкость.

Зате.хг неремеп;ают устройство совмепхения / в верхнем пазу кареткп /7 механизма иеремепхення 2 до тех пор, нока на экране не появится изображение линии реза от двух объективов 8 п 9 (фиг. 1), после чего устройство совмеп1ения / фикспр ют в пазу. Поворачивают блок 10 объективов вокруг оси поворота до совмещения изображения линии реза от двух объективов 8 п 9 на экране устройства совмен1,еппя /.

После этого перемещают ручкой /- (фиг. 2) кареткугоризоптальных перемещений

13 до тех пор, пока совменхепное изображение линии реза ие совпадет с визирной на экране устройства совмещения /. После совпаденпя нробпую пластинку снимают с вакуумного натрона 5 п закрепляют обрабатываемую.

Механизмом ориентации 6 совмещают место реза с визирной линией на экране устройства совмен1,епия . /, после чего включается автоматический цикл, производят скрайбироваппе в о/июм паправлении.. По окончании вакуумный патрон 5 с пластинкой разворачивается на 90°. Производится линейное совмеихепие места реза с визирно,й линией иа экране устройства совмеи ения 1, и цикл новторяется в другом нанравлепии. По окончаиии цикла пластинку снимают и подают на операцию разламывания.

Предмет и з о б р е т е п и я

Установка для скрайбпрования полупроводниковых нластнн, содержащая координатный стол с шаговым нриводом, резец с мехаиизмом крепления, вакуумный патрон, механизм ориентацнп полуироводпиковой пластины, двунольное оитическое устройство совмещения полупроводпиковой пластины с линией скрайбироваиия и механизм перемеп1,ения устройства совмещения, состояи 1,ий из двух взаимно нериепдпкулярных кареток, отличающаяся тем, что, с целью упрощения конструкции установки и улучшения условий работы онератора, в одной из кареток выполпеп паклоппый паз, взаимодействуюиип с пальцем ползуна другой каретки, причем обе каретки имеют привод от виптов, расположенных на одной оси.