ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР Советский патент 1973 года по МПК G01P15/09 

Изобретение относится к измерительной технике.

Известны пьезоэлектрические акселерометры с пьезокерамическими чувствительными элементами поджатого типа, в которых токосъемные поверхности пьезоэлементов - электроды выполнены металлизированными, например, путем вжигания серебряного покрытия. Металлизированные покрытия из-за поглощения или рентгеновского излучения не позволяют производить рентгеноструктурный анализ пьезокерамических элементов и не позволяют использовать его для нахождения угла отклонения вектора поляризации пьезоэлемента.

Цель изобретения - осуществление рентгеноструктурного анализа поляризованной пьезокерамики и упрощение технологии изготовления электродов.

Это достигается тем, что токосъемные поверхности пьезоэлементов выполнены из аквадага.

На фиг. 1 представлен общий вид предлагаемого пьезоэлектрического акселерометра; на фиг. 2 - пьезоэлемент с нанесенными электродами из адвадага. Приняты следующие обозначения: чувствительный элемент 1, представляющий собой два пьезоэлемента; корпус 2; токосъемник 3; инерционная масса 4; крыщка 5; упругий элемент 6.

На фиг. 2 представлен отдельно пьезоэлемент 1 из пьезокерамики с нанесенными электродами 7 (суспензии графита в воде) из аквадага. Угол 8 - угол между вертикальной осью пьезоэлемента 1 и направлением суммарного по площади вектора поляризации; Угол 9-угол между горизонтальной осью пьезоэлемента 1 и горизонтальной проекцией вектора поляризации пьезоэлемента 1.

Использование предлагаемого выполнения электродов 7 токосъемных поверхностей пьезоэлементов пьезоэлектрических экселерометров из аквадага исключет необходимость применения серебра, упрощает технологию нанесения электродов (температура вжигания аквадага 400°С, температура вжигания серебра 800°С), сокращает процесс изготовления, и благодаря тому, что аквадаг ослабляет интенсивность рентгеновского излучения в 20 раз слабее, позволяет производить рентгеноструктурный анализ пьезокерамических элементов для выявления отклонения вектора поляризации пьезоэлементов с целью уменьщения поперечной чувствительности пьезоакселерометров. Такое выполнение токосъемных поверхностей дает положительный эффект при создании пьезоэлектрического акселерометра поджатого типа для получения минимально возможной поперечной чувствительности.

Практически не составляет трудностей получение у пьезоакселерометров с аквадажным покрытием относительной поперечной чувствительности менее 1 %, что очень сложно при использовании пьезоэлементов с металлизированными электродами с последующим их подбором в корпусе акселерометра. При этом характеристики пьезоэлементов практически не изменяются от типа покрытия.

Предмет изобретения

Пьезоэлектрический акселерометр с пьезокерамическими чувствительными элементами

поджатого типа, отличающийся тем, что, с целью осуществления рентгеноструктурного анализа поляризованной пьезокерамики и упрощения технологии изготовления, токосъемные поверхности пьезоэлементов выполнены из аквадага.