УСТАДОВКА ДДЯСРаеК*«.П.<;)ЛУПРОВОДНИ:КОВЫХ.ПРИБОРОВ Советский патент 1974 года по МПК H01L21/50 

1:

Шобр.етение относится к производству пог лупроводниковы с приборов и может быть использовано на операциях беспроврдачной сборки методом группового присоедцнедия ннтегралышх схем с консольными (балочны-, ми) выводами к подложкам микросхем а также .новле.ния полупроводниковых приборов после группового присоединения. Присоединение может осуществляться различными способа,ми: термокомпрессиоиной или ультразвуковой сваркой, пайкой и др..:

Известны установки:для сборки, полупроводниковых приборов с балочными выводами, содержащие инструментальную головку, установленную на вертикальном,валу с возможностью осевого перемещения, оснащенную С1 ециальным инструментом дл,я одновременного присоединения многочислен-ных выводов активного элемента к прдложке,. механизм .ения инструмента и предметны стол.

Для расщирения техно.1огических возможностей устадовки :И повыщенйя. качества сборщ полупроводниковых приборов,в предлагае.мой установке .инструментальная головка выпрлнепа револьверной, размещенной в корпусе с расположсн11ь1м. в .ней механизмом нагруження, содерж.аш,цм„, по меньшей .мере, два нагружателя,.одш1 из. которых, сл.ужит для восприятня. собственного веса, головки с жестко закрепленным .в ней держат.е.лями с рабочими инструментами и фиксации ее на рабочей позиции, а другой -для передачи через корпус и держатели требуе1мого технологического усилия на рабочие инструменты.В;корпусе вы-: .полнены отверстия для фиксации инструментов на рабочей позиции.

На чертеже показана описываемая уста-: новк,а.

Установка содерж.ит в корпусе 1 инструментальную головку с жестью закрепленными держ.ателямн 2-4, оснащенными специальными инструментами 5 7 ддя группового присоединения выводов ак.тивного элемента,, присоединения одиночных выводов и удаления

с подложки бракованной интегральной схемы, с выводами, соответственно. Корпус / уста-. новлен на вертикаль ном валу S в шариковых: цилиндрических направляющих 9. На валу 8 жестко закреплен механизм нагружения, вклк)чающий нагружатель 10, передающий на каждый инструмент отдельно, и нагружа-: тель,;/.(;,.предназначенный для восприятия соб--, ственнфго веса револьверной головки и фикса ции: инструментов на рабочей позиции по отверстиям /2 в корпусе /.Перемещение вала 8 с механизмом нагруження и корпусом револьверной головки осуществляется приводом 13; содержащим щаговый двигатель 14 и .винтовую пару, качения 15, кинематически связанные, между собой зубчатой передачей /5..

Установка работает следующим образом.

При помощи оптической .CHCTeM;fei,. шс.тоя-. щей из микроскопа (проектора) 17 и полугпрозрачного зеркала 18 с двумя отражающи:. ми гранями 19 и 20, оператор производит сов мещение активного элемента, расположеиного в прозрачной ка-соете 21, и контактных площадок подложки микросхемы, расположенной .-на .рабочел -столе 22, отнооит:ельно торца инструмента 5. После этого револ| верная.-головка .с инструментом 5 опускается «а позицию захвата актиано го элемента Из кассеты 21. Активный элемент при помощи вакуумного присоса 23 удерживается в неоосредствениой близости к тО|рцу инструмента 5. Дальнейшем опуокаиием.аыводы активного элемента вводятся в соприкосновение с контактными площадками подложки и благодаря применению необход1имых технологических режимов (давления, ультразвука и др.) осуществляется присоединение, после, чего револьверная головка соверщает обратный ход в исходное положение.

При необходимости..проведения операций удаления бракованных активных элементов или присоединения отдельных выводов нужный инструмент подводят на рабочую позицию и фкксируют нагружателем // по отверстиям 12,

после чего определяют совмещение. Цикл пер,е ещени ревельверврй головки повторяется.

Предм-.ет изобретения-;..

Установка для сборки под тароводниковых npH6opoBj- содержащая Инструадедтальную головку установленную на вертица:,дшоу:-.-валу с

возможиостью, осев.ого перемещення,; механизм

нагружения инструмента, предметный стол, отличающаяся , что, с целью расширения

технологических возможностей.:, установки и

повыщевия. качества-сборки . полупррводниковых приборов, инструментальная головка выполнена револьверной, размещенной-в корпусе с расположенным в ней механизмом- нагружения, содержащим, по меньшей мере, два нагружателя, один из которых служит для восприятия собственного веса головки с жестко закрепленными в ней держателями с рабочими инструментами и фиксации ее на.рабочей, позиции, а другой - для передачи, корпус и держатели требуемого технологического

усилия на рабочие инструменты, причем в .кор: пусе выполнены отверстия для фиксации инструментов на рабочей позиции.

13

1