Установка для микросварки Советский патент 1974 года по МПК B23K31/02 

I

Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов и может быть использовано в микроэлектронике при монтаже перевернутых кристаллов для приварки балочных и дургих консольньк

выводов.

Известна установка для микросварки, содержащая размещенные на станине механизм давления, держатель сварочного инструмента, оптическое устройство, микромани пулятор и привод.

Однако в известной установке происходит -значительное проскальзывание сварочного инструмента, что увеличивает процент брака.

Предложенная установка устраняет указанный недостаток и отличается тем, что она снабжена механизмом обкатки, выполненным в виде закрепленных на микроманипуляторе подвижных опор, взаимодействующих с копирам 1, предусмотренными на дополнительно установленных на станине стой ках, при этом подвижные опоры кинематически связаны с приводом, а профиль копи-

ров соответствует профилю сварочного инструмента.

На фиг. 1 изображена предлагаемая установка, общий вид; на фиг. 2 - 4 - виды по стрелкам А, Б и В.

Установка состоит из проектора 1, предназначенного для наблюдения за совмещением; механизма обкатки 2, перемещающего обрабатываемое изделие при сварке методом обкатки изделия по поверхности сварочного инструмента 3; микроманипулято- ра 4, служащего для высокочастотного перемещения обрабатываемого изделия, к корпусу микроманипулятор а 4 неподвижно прикреплен рычаг 5; механизма давления 6, предназначенного для нагружения свариваемых элементов с заданным усилием и включающего держатель 7 сварочнбго инструмента 3; привода 8, кулачки которого установлены на распределительном валу 9. Привод установлен неподвиж-но на станине 10.

К станине Ю прикреплен рычаг 11, качающийся на оси 12, один конец которого связан с приводом 8, а на втором щарнир- но закреплены на оси 13 механизм давле- ния 6 и рычаг 14. От привода 8 рычаг 14 через винт 15 передает движения механизму давления 6, осуществляя перемещения сварочного инструмента в вертикальном направлении. На станине закреплен также регулируе- мый упор 16 . Механизм обкатки 2 состоит из подвижных опор 17 и 18 и копиров 19, 20, 21. Подвижные опоры закреплены на корпусе микроманипулятора 4, а копиры - на консолях 22 станины 1О. Опора 17 имеет две рс1бочие поверхности, одна из которых выполнена в виде рейки и входит в зацепление с зубчатым копиром 2 О. Профиль копиров подобен профилю сварочного инструмента. Пружины 23 служат для силового замыкания подвижных опор 17 и 18 с копирами 19, 2О, 21. Присоединение выводов изделия 24 к пла те осуществляется следующим образом. Обрабатываемое изделие 24 устанавливается на предметный столик микромани- пулятора 4. При отведенном сварочном инструменте 3 ручкой манипулятора 4 совме- щают изображение выводов обрабатываемого изделия с щаблоном на Экране проектора 1 Включают привод 8, и от кулачка рычаг 11 поворачивается на оси 12 до упора 16, который выставлен так, чтобы при опускании сварочного инструмента последний попадал на выводы микросхемы. Затем от привода 8 рычаг 14 поворачивается на оси 13, через винт 15 передает движение механизму давлении 6, и сварочный инструмент 3 опускается на выводы микросхемы, сообщая задан (гое давление. Одновременно с перемещениями свароч- но1ч инструмента от кулачка привода 8 через рычаг 5 происходит ускоренный поворот . микромайинулятора 4 с обрабатываемым изделием 24 и крайнее наклонное положение. При этом опоры 17, 18, установленные на микроманипуляторе 4, перекатываются по копирам 19 и 21, а от смещения удерживаются за счет зубчатого зацепления копира 2О с опорой 17. При дальнейшем вращении распределительного вала 9 в момент касания микросхемы инструментом 3 микроманипулятор 4 с обрабатываемым изделием через рычаг 5 от кулачка привода 8 поворачивается равномерно из одного крайнего положения в другое, а выводы микросхемы перекатываются по рабочим поверхностям инструмента 3, и происходит поочередная приварка их. После присоединения выводов сварочный инструмент рычагами 14 и 11 поднимается и отводится в исходное положение, а обра-i батываемое изделие вместе с микромани- пулятором 4 устанавливается горизонтально. Совмещается новый прибор изделия, и цикл повторяется. Таким образом, введение механизма обкатки позволило устранить проскальзывание инструмента по присоединяемым выводам, упростить кинематическую схему установки и улучшить качество присоединения. Предмет изобретения Установка для микросварки, содержащая размещенные на станине механизм давления, держатель сварочного инструмента, оптическое устройство, микроманипулятор и привод, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества микросварки путем устранения проскальзывания сварочного инструмента, она снабжена механизмом обкатки, выполненным в виде закрепленных : на микроманипуляторе подвижных опор, взаимодействующих с консольно установленными на станине копирами, при этом подвижные опоры кинематически связаны с приводом, а профиль копиров соответствует профилю сварочного инструмента.

SudA

Вид Б

л

У