Устройство для загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов Советский патент 1980 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к технологи ческому оборудованию для производства полупроводниковых приборрв быть использовано для ме.ханизацййзагрузки кассет деталями в радиоэлектронике. Известно устройство для загрузки в кассеты плоских деталей типа диска, криствшла, прокладки, содержащее электромагнитный вибропривод, форвакуумный насос и съемный виброло ток с каналами и гнездами, через которые осуществляется вакуумный присос деталей. Однако известное устройство не обеспечивает ориентированной загрузки в кассеты переходов по лупроводниковых приборов Известно устройство, которое содержит электромагнитный вибратор с постоянной частотой колебаний,.вибролоток, установленный на оси вращения, с двух сторон которого имеются трафареты с канавками и гнездами под кристал лы и отверстиями для вакуумного присоса, форвакуумный насос с .трехпозиционньол распределителем. При работе устройства кристал лы скользят по поверхности лотка, заполняя поштучно гнёзда трафарета, Излишки кристаллов сходят через открытый торец вибролотка в емкост. Загруженный вибролоток, при включенном вакууме, поворачивается на 180 вокруг своей горизонтгшьной оси, при этом гнезда его трафарета устанавли- . ваются соосно с отверстиями направляющей решетки, под решеткой устанавли-, вается кассета. При выключении вакуума кристаллы«под действием силы тяжести из трафарета вибролотка через отверстия рещетки пересыпаются в кассету, укладываясь в гнездах произ, вольно и .. Недостатками известного устройства является низкая производительность загрузки вследс±вие того, что вибратор обеспечивает двиз гение кристаллов по плоскости вибролотка .только в одну сторону с малой амплитудой коле15аний , а вакуум в устройстве используется для удержания i кристаллов при повороте вибролотка на 180 и не способствует эффективности загрузки, кроме того, появление микротрещин и микросколов кристаллов вызывается интенсивным трением кристаллов между собой в связи с высокой (50 Гц) частотой колебаний Бибролотка .

Цель изобретения - повышение прои водительности работы и уменьшения пов реждений переходов достигается тем/ что устройство для загрузки в

касЬет кЁ)ие;таллдв полупроводниковых приборов, содержащее соединенный с виброприводом вибролоток с гнездам для кристаллов и вакуумный присос, снабжено магнитными захватами и 1этаканами для загруйки кассет с крйсталлами, а.вибропривод выполне в ви двух эксцентриковых валов, установлёйййх с- возм 3жностью их синхронного вращения при этом вакуумный присос соединен с гнездами вибролотка,

в каждом из которых размещены маг нитный захват и стакан.

Вибролрток выполнен в виде платформы с шестью магнитными захватами для установки и фиксации стаканов с кассетами. Устройство снабжено централизованной вакуумной сиетемой, в которой вакуум периодичес кй прерывается двухпозиционным -пробковым золотником (8 раз в минуту) , Приводы золотника и эксцентриковых валов включаются одновременно, но работа их независима. Одновременное воздействие прерывистого вакуума и соударений стаканов об упругий груз в процессе вибрации способствуют ориентации и загрузке переходов в кассетьа,

Ка фиг, 1 изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2 - разрез устройства по оси эксцентрикового вала (ближний левый стакан с магнитного захвата условно снят) Т на фиг. 3 - увеличенное изображение возможных положений кристаллов на плоскости кассеты, , . . ,

Устройство сост&ит из .корпуса 1, на котором смонтированы два эксцентриковых вала 2. Платформа 3 с помощь кронштейнов 4 установлена на эксцентриковых валах. На платформе смонтированы шесть магнитных захватов 5, на которые устанавливаются стаканы б. Привод эксцентриковых валов осуществляется электродвигателем 7 через клиноременную передачу 8,9,10 и зубчатые пары 11,12. Кассета 13 с помощью заглушки 14 устанавливается в стакане б,в который навалом.насыпают переходы 15,16,17. В кассете имеются сквозные, отверстия размером в 1,5 диаметра электрода, Клапан 18 при установке стакана б на магнитный эах ват 5 опускается вниз, открывая вакуум.

Груз 19 закреплен на упругих элементах 20. Hai трубопроводе центральной вакуумной системы установлен двупозиционный золотник 21 с индивидуал HkM электроприводом 22, Золотник выполнен в виде прдбки со сквозным , овапьвйм отверстием,

При вращении золотник за один обор 5т даазкды перекрывает условный проход трубопровода, чем обеспечивается йрерывистость вакуума в стаканах (8 раз в минуту).

. Работа устройства осуществляется следующим образом.

Стаканы 6 с кассетами 13 устанавливаются на магнитный захват 5, при этом клапан 18, утапливаясь, открывает вакуум. Переходы засыпаются :в стаканы на поверхность кассеты 13 в количестве в 1,5-2 раза большем, чем число отверстий в кассете. Одновременно включаются электродвигатели 7 и 22 привода эксцентриковых валов и золотника. Вращение электродвигателя 7 через кинематическую цепь:клиноременную передачу 8,9,10 и зубчатые пары 11,12 передается на эксцентриковые валы, которые, вращаясь синхронно, обеспечивают вибрацию платформьа 3 с амплитудой, равной двум эксцентриситетам.Частота вибрации платформы 3 регулируется числом обо ротовэлектродвигателя 7. Благодаря вибрации небольшой частоты, но значительной амплитуды, переходы двигаются по поверхности кассеты, подскакивая вверх, меняют свое положение в пространстве стакана. Переходы 15, занявшйё положение электродом книзу под действием сил вибрации, тяжести и вакуума втягиваются в отверстие кассеты,а в положениях 16 и 17 (см,фиг, считаются незагруженными, В случае установки перехода 16 кристаллом на отверстие, вакуум его притягивает к кассете, но так как он прерывается, то такое положение перехода будет неустойчивым и кратковременным Переходы 16,17 будут двигаться (плясать) по кассете до тех пор, пока не загрузятся в отверстие электродом книзу.

Для того, чтобы незагруженные перходы не сбивались в. одну сторону в стакане 6 и равномерно распределялис по поверхности кассеты 13, стакан в процессе вибрации соударяется с грузом 19, закрепленным на упругих элементах 20. После заполнения всех гнезд в кассете стакан снимается с магнитного прихйата, при этом его клапан 18 поднимается, прерывает утечку вакуума. Из стакана с помощью заглушки 14 извлекается кассета и лишние незагруженные переходы высыпаются в тару. Одновременно на платформе могут загружаться б кассет, процесс загрузки переходов в других стаканах аналогичен описанному.

Формула изобретения

Устройство Для загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов, содержащее соединенный с виброприводом вйбр6.поток с гнездами для кристаллов, вакуумный присос, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности