Способ получения - окиси алюминия Советский патент 1977 года по МПК C01F7/30 

Hrio6pere;i; e относнгся к производству dL-окиси и материалов на ее основе, применяемых для изготовления подложек микросхем с высокгм уровнем vniTerpauHH или для гибридиых схем. Известен способ получения oL-окисн алюминия и материалов на ее основе путем гер мообргботки шихты их J -окиси алюминия и добавки, например ,,СиО . Содержаниео1- рО, составляет 96%. Цпя получения продукта с удельной по верхиостью от 1 до 25 м /г и повышения его выхода предлагается способ, по которому в шихту вводят основную соль алюминия и влагу из шихты перед термообработ- кой удаляют со скоростью 35-80 вес.%. Таким образом, снижают температуру, при которой CTeric-Hb образования j.-окиси алюминия близка 1ОО%; удельную поверхность порошков регу/гнруют п luiipoKHx пре- делах. Лобавкн (Mg-, Sc и др.) рягяюмерно рйспределяются RO всей материала без всяких операций помола, что гарантирует сох|-)анение чистоты Koitennor продукта. Содержание примесей и слодуюи1ее: не более 0,05% натрия и не более 0,005% железл, титана, марган ш, магния, кальиия, хрома, кремния и бора. Кроме того, применение такого способа позволяет получать однородные, мелкодио персные пороип и, пригодные для спекания качественной керамики, иобеспечивает по вышение выхода годных изделий. Пример 1. Лля полученияс. вят раствор нитрата алюминия с содержанием г/л в пересчете на , . Из полученного раствора бысч-ро удаляют влагу, nanpiD-fep способам, распылительной сушки. Данные о скорости удаления влаги и тег пература суишн, необходимые для доспюкения требуемой дисперсности конечного продукта приведены в табли1;е, Полученный продукт смесь основных tHTparoB апюмии1 я иу« подвергают термический обработке при температуре от 1100 до 12О1)С в течение 3 ч. Продукт термической обработки содержит 98-1 ОО% - де/,

429635 Прим&р 2. Гоговяг раствор ацегага а мкния с содержанием 200-250 г/л в пере счеге на А 9., . Из раствора удаляют вла.« гу в распылительной сушилке со скоростью 70 вес.%/с. По; ученный гфодук- подвергают термо обработке при 12 00 С в течение 3 ч. Про дукг термической обработки содержит 98,0 „Д О и имеет удельную поверхность 25 MVr/ Пример 3.. Готовят раствор нийных квасцовое содерясанием 40-50 г/л пересчете на Xp..0j. Из попученного раствора удаляют влагу в распылительной сушняке со скоростью около 50 вес.%/с. Полученный продукт подвергают термообработке при 130О°С в течение 5 ч. Про.яукт термической j6pa6oTKh содержит 100% .-окиси алюминия и имеет удельную поверх-ность 2,5-3,0 м/r. Пример 4. Готовят раствор нитрата алк миния как указано в примере 1. С ним см& шивают раствор нитрата магния из расчета 9,.5% Мо О к общему количеству А8., О. Из полученной смеси удаляют влагу в распылительной сушилке со скоростью 45 вес.4,4 Продукт распылительной сушки подвергают термообработке нри температуре от 12ОО до 1250С в течение 3 ч. Продукт термо обработки содержит 1ОО% -А-АБ, О., и имеет удельную поверхность 5 .

Ф , р, „ , „ а „ , о 6 р , , а, , и Способ получения оС-окиси алюминия и .ррйапов на ее основе путем термообра- 30 6o-.-4f« шихты из|-окися алюминия и добавк,о. « ,,.Л..р.йостью от 1 до 25 и повышения его выхода, в шихту вводят основную соль аяюминия и влагу из шихты перед термооора боткой удаляют со скоростью Зо-8О вес./о/и.