Способ очистки моносилана методом низкотемпературной ректификации Советский патент 1974 года по МПК F25J3/08 

Описание патента на изобретение SU432792A1

(54) СПОСОБ ОЧИСТКИ МОНОСИЛАНА МЕТОДОМ

НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ РЕКТИФИКАЦИИ

...-Ч 432792

3

ют на , увеличивают отбор до 2ОО л/час II берут анализ на содержание тетраэтоксилана в К1оносилане. После отбора 5% от исходной смеси в пробах отсутствует тетраэтоксилан. Далее теллпературу повьшшют до 2ОООС и уменьшают отбор до ЗО л/час. Процесс очистки считают законченным, когда отобрано . 3% от исходной смеси. Об окончательньос результатах очистки судят по удельному сопротивлению кремния, полученного из этого моно- силана, после одного прохода (уровень по донорам) и 15 проходов (уровень по беру) на печах бестигельной зонной плавки в вакууме. Результаты показывают, что уровет ь по донорам 5ОО ом см, а уровень по беру 12ООО ом см (соответственно против 200ом.Ьм и ЗООО омсм, получаемых обычным методом). При этом потери моносилана снижаются на 2О%, а расход хладагента (жидкого азота) на 15%.

Предмет изобретения

Способ очистки моносилана методом низкотемпературной ректификации в колон-не при выводе примесей из куба полного испарения колонны потоком части пара моносилана, отличающийся тем, что, с целью уменьшения количества отводимого моносилана, загрязненного примесями, и сокращения расхода хладагента, температуру в кубе испарителя поддерживают сначала равной температуре замерзания очищаемой примеси, затем тектераI туру повышают на 20-4О°С и отбирают моносилан в количестве 4-1О% от загрузки из куба испарителя, после чего температуру поднимают до 50-200 0 и с уменьшением скорости отбора отводят 1-3% от исходного количества считаемого продукта.

Похожие патенты SU432792A1

название год авторы номер документа
СПОСОБ ОЧИСТКИ И РАЗДЕЛЕНИЯ КРИПТОНО-КСЕНОНОВОЙ СМЕСИ РЕКТИФИКАЦИЕЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2005
  • Савинов Михаил Юрьевич
RU2300717C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНА ВЫСОКОЙ ЧИСТОТЫ 2002
  • Белов Е.П.
  • Ефимов Н.К.
  • Лебедев Е.Н.
  • Рябенко Е.А.
  • Стороженко П.А.
RU2214362C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА 2004
  • Елютин Александр Вячеславович
  • Назаров Юрий Николаевич
  • Чапыгин Анатолий Михайлович
  • Кох Александр Аркадьевич
  • Аркадьев Андрей Анатольевич
  • Апанасенко Вячеслав Владимирович
RU2280010C1
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ТЕТРАХЛОРИДОВ ЦИРКОНИЯ И ГАФНИЯ РЕКТИФИКАЦИЕЙ 2006
  • Нисельсон Лев Александрович
  • Федоров Владимир Дмитриевич
  • Елютин Александр Вячеславович
  • Казанцев Валерий Николаевич
  • Штуца Михаил Георгиевич
  • Чувилина Елена Львовна
  • Гасанов Ахмедали Амиралы Оглы
  • Аржаткина Оксана Алексеевна
RU2329951C2
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ХЛОРСИЛАНОВ 2002
  • Гашенко С.И.
  • Тищенко И.А.
  • Максимова Г.В.
RU2214363C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЧИСТОГО МОНОСИЛАНА И ТЕТРАХЛОРИДА КРЕМНИЯ 2011
  • Барабанов Валерий Георгиевич
  • Трукшин Игорь Георгиевич
  • Мухортов Дмитрий Анатольевич
  • Петров Валентин Борисович
  • Чурбанов Михаил Федорович
  • Гусев Анатолий Владимирович
  • Котенко Андрей Васильевич
  • Котенко Дмитрий Васильевич
RU2457178C1
СПОСОБ ОЧИСТКИ И РАЗДЕЛЕНИЯ СМЕСИ РЕКТИФИКАЦИЕЙ 2004
  • Савинов М.Ю.
RU2265778C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЧИСТОГО ПЕНТАХЛОРИДА НИОБИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2007
  • Менгазиев Сергей Константинович
  • Дернов Андрей Юрьевич
RU2381179C2
СПОСОБ РЕКТИФИКАЦИИ СПИРТОСОДЕРЖАЩЕГО СЫРЬЯ 2006
  • Мамин Владимир Никитович
  • Константинов Евгений Николаевич
RU2322485C2
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ КРИПТОНО-КСЕНОНОВОГО КОНЦЕНТРАТА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2002
  • Савинов М.Ю.
RU2213609C1

Реферат патента 1974 года Способ очистки моносилана методом низкотемпературной ректификации

Формула изобретения SU 432 792 A1

SU 432 792 A1

Авторы

Зельвенский Я.Д.

Ефремов А.И.

Петрик А.Г.

Семенов А.И.

Шварцман Л.Я.

Горшков А.П.

Поселянин И.В.

Даты

1974-11-05Публикация

1972-01-03Подача