Материал для высокоомных резисторов Советский патент 1974 года по МПК H01C7/02 

1

Изобретение относится к электронной технике, к изготовлению схем и пленочных резисторов.

Известен состав для получения проводящих покрытий высокого удельного сопротивления на основе Сг-Ti-SiO.

Недостаток указанного состава состоит в низкой термостойкости и трудности получения положительных значений ТКС.

Цель изобретения - увеличение термостойкости резисторов и смещение их ТКС в область положительных значений.

Эта цель достигается тем, что в состав испаряемого материала введен алюминий.

Полученные термической возгонкой в вакууме проводящие покрытия подвергаются термической обработке на воздухе, при этом происходит частичное окисление металлических компонентов материала покрытия.

Поскольку удельный вес окисла алюминия больше удельного объема металла, то при окислении алюминия происходит уплотнение покрытия, препятствующее проникновению кислорода и дальнейшему окислению.

Спекание проводящего покрытия, содержащего алюминий, при высокой температуре происходит без глубокого окисления других металлов, например хрома.

Одновременно с улучшением термостойкости у покрытий, содержащих алюминий, происходит смещение ТКС в область положительных значений с увеличением содержания алюминия в материале. Проводящие покрытия, толщиной 0,1 -

0,15 мкм, полученные испарением в вакууме материала Сг-Ti-SiO-Al, могут подвергаться термообработке 30-60 мин при 500- 550°С. Потери проводимости при этом не наблюдается, как это происходит у некоторых покрытий из Сг-Ti-SiO. Температурный коэффициент сопротивления можно изменять в

пределах (-100h200) 10-Ч/°С, изменяя

содержание алюминия от О до 9% по весу.

Предпочтительное содержание алюминия в составе 2-6%.

Предмет изобретения

Материал для высокоомных резисторов, содержащий хром, титан и моноокись кремния, отличающийся тем, что, с целью увеличения термостойкости резисторов и смещения их ТКС в область положительных значений, в него введен алюминий при следующем количественном соотношении исходных компонентов (в вес. %):

Хром26-60

Титан10-30

Моноокись кремния20-60

Алюминий2-9.