Резистивный материал Советский патент 1976 года по МПК H01C7/00 

1

: Изобретение относится к радиоэлектрони- Ке. Резистивный материал может применен в качестве проводящего слоя,для реаистйвных элементов схем и тонкослойньис металлодиэл ектрических резястров. -Известен резистивный материал, преиму-, ,щественно для ,металлодиэлбктричес1шх рб1зисторов, на основе хрома, содержагшгй железо, никель и смесь окислов SiOg,A. Саб , Р , Ti0, . .

; Из ЭТОГО материала дутем термического кспарения в вакууме получают резистивные пленки с удельнымсопротивлением от 5 OM/Q Яб 1О KOM/tJ при теглпературном коэффициiенте,сопротивления (ТКС) в пределах (-:200ч+ 100): 1/°С.

Однако при удельных сопротивлекиях ре- зистивных слоев менее 1О ом/О возраста-. ет абсолютная величина ТКС, Кроме того, ТКС зависит от удельного сопротивления. ; I . Цель изобретения - сншквкае ТКС и умень-шенне;его зависимости от удельного сопротивления резистивного слоя,- . I Предлагаемый материал отличается тем, что в него введен алюминий при следующем:

количественном соотно 11ении «сходных комjnoHGHTOB (вес,%):

90

40 О,1

Хром

2О 20 Железо Никель О,1

- 5,О 0,1 Алюминий

Смесь окислов

остальмоеНикепь резко : смещает- ТКС в область положительных значений, но при испарении Данного cocTaBaiOH взаиь/ одейстБует с-материалом испарителя.

1 Желэзо и никель в соотношении (0,): 1... |исшпоча1ру указанный дедQCTflTOK. Для |более плавного смещении ТКС в область положительных ;аначений и i уменьшения абсо- ...лютных значений ТКС до| (i 10 - 100) too - 1/ с введен алюминий.

Для по.т5учения резистквнрго материала быг/и лодготоваены Три состава с соотношвг : НИ6М иагрй.аиентов1указанным в табяггцо.. : Термическим испарением в вакуукш из составов получены резистивные пленки, .ха« рактернспгки которых также указапь в tafe Лйце,. .

Формула изобретения

Резистивный материал, преимущественно для металлодиэлектрвчвскй }резистороё; ka основе хрома, содержащий железо, никель и смесь окислов SiOpjACj Oj, ВаО,

СаО, ., TiO.

+ ,

отличающийся тем, что, с целью снижения ТКС и уменьшения его завиcHiMocTH от удельного сопротивления реайс« |гивного слоя, в него дополнительно введен алюминий при следующем количёствённом Со отяошенииисходных компонентов (вес.%):

Хром

90 20 20 5,0

40 0,1

Железо

Никель 0,1 Алюминий , 0,1 Смесь окислов

остальное.