Устройство для транспортирования и ориентирования круглых подложек Советский патент 1974 года по МПК H01L7/68 

Изобретение относится к области микроэлектроники и может найти применение при производстве полупроводниковых приборов, например, для фэтогравировки,

Известна автоматическая система для подачи и предварительного ориентирования подложек.

Подложки подаются на воздр ной подзпдке (на линейных воздушных подшипниках) на поворотный столик. Ориентировка производится по плоскости срезанного сегмента при помощи двух фотоэлектричесшх головок, управляющих вращением столика. Эта система из-за своей сложности.ненадежна в эксплуатации и требует . применения средств автоматики и управления.

Известны также устройства для ориентирования и сортировки деталей, принцип действия которых основан на пршенении вибрации. Однако эти устройства не позволяют, ориентировать детали круглой формы, у

которых в качестве ключа ориентации служит плоскость срезанного сегмента.

Для повьппения надежности ори5 ентавди подложек со срезанным сегменторй в Предлагаемом устройстве ориентируюший механизм содержит подвижную оазовую опору, выполненную в виде плоской пластины с упругим шарниром, расположенную перпендикулярно оси транспортирования, консольно закрепленную на корпусеориентирующего механизма и кинематически связанную с виброприводом,

5 и базовый упор, жестко закрепленный на корпусе ориентирующего механизма, на расстоянии от подвижной базовой опоры, равном 1-1,2 радиуса подложки.

0 На чертеже показан общий вид предлагаемого устройства. Устройство содержит основание I; пневмотранспортер 2 с бортами 3; ориентирующий механизм, содержащий корпус 4, с прикрепленными к нему бортом 5 и базовым жесткщй упором 6, подвижную базовую опору 7, прик- , репленную к кортусу 4 через.пружинный шарнир 8 и вибропривод 9.

Устройство работает следующим образом.

Приподаче воздуха к пневмотранспортеру 2 и корпусу 4 ориентирующего механизма подложка, подан нал на пневмотранспортер, движется на воздушной подушке по направлению к ориентирующему механизму. Попадая на ориентирующий механизм, сопла 10 которого расположены так, что выходящий из них воздух прижИмает подложку к подвижной базовой опоре 7, упору 6 и создает вращающий момент, подложка оставливается. Момент сил трения подложки об упор 6 и подвижную базовута опору 7 превышает вращающий момент. Привключении вибропривода 9 подвижная базовая опора 7 начинает вибрировать, и момент, вращающий подложку, превышает мог/ент сил трения во время отрыва ее от подвижной базовой опоры 7. Подложка поворачивается до тех пор, пока плоскость ере занного сегмента не совпадает с вибрирующей базовой опорой 7. Такое

фиксированное положение подложки позволяет при выключенном приводе вибратора выполнять такие технолотические операции, как перенесение .изображения фотошаблона на подложку, измерения параметров приборов на неразрезанной подложке и др; .

ПРЕДОЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ Устройство для транспортирования и ориентирования круглых подложек, например, полупроводниковых, состоящее из пневмотранспортера с соплами и ориентирующего механизма отличающе еся тем, что, с целью повышения надежности ориентации подложек со срезанным сегментом, ориентирущий механизм содержит подвижную базовую опору, выполненную в виде плоской пластины с .упругим шарниром, расположенную перпендикулярно оси транспортирования, консольно закрепленную на корпусе ориентирующего механизма и кинематически связанную с виброприводом, и базовый упор, жестко закрепленный на корпусе ориентирующего механизма на расстоянии от подвижной базовой опоры, равном 1-1,2 радиуса подложки.