Станок для прецизионного шлифования плоских поверхностей деталей Советский патент 1982 года по МПК B24B7/04 

Изобретение относится к прецизионным шлифовальным станкам, используемых преимущественно при шлифовании плоских неметаллических полупроводниковых деталей типа подложек для микросхем. По основному авт. св. № 282089 известен станок, содержаш,ий врашаюш,ийся столик с планшайбой на шаровой опоре, соединенный с валом привода вращения, и подвижный относительно корпуса вала щлифоваль ного шпинделя упор, расположенный сверху над вращающимся столиком 1. Однако вращающийся столик недостаточно устойчиво фиксируется в рабочем положении, в результате чего не обеспечивается заданная точность обработки плоских поверхностей деталей, особенно с увеличением диаметра обрабатываемых изделий свыше 50 мм. Кроме того, не обеспечивается равномерный и стабильный съем заданного припуска, что приводит к поломке дорогостоящих обрабатываемых деталей за счет перегрузок, возникающих при обработке. Цель изобретения - повышение точности обработки деталей путем повышения на дежности фиксации вращающегося столика в рабочем положении. Указанная цель достигается тем, что станок для прецизионного шлифования плоских поверхностей деталей снабжен дополнительным упором, на котором установлен подвижный столик, и размещенным на станине станка плунжерным фиксатором, взаимодействующим с дополнительным упором, при этом упомянутый упор снабжен двумя опорами качения, одна из которых размещена между ним и столиком, а посрелЧством второй - нижний упор соединен со столиком таким образом, что имеет возможность совместного с ним осевого перемещения. Кроме того, плунжерный фиксатор размещен с возможностью установочного пере . мещения в двух взаимно перпендикулярных направлениях. Причем дополнительный упор установлен на введенных в устройство направляющих колонках, дополн1 тельно соединен с вращающимся столиком при помощи также введенных в устройство амортизаторов, и подпружинен относительно станины в направлении верхнего упора упругими элементами, расположенными между нижним упором и станиной. На чертеже показан предлагаемый станок, общий вид. Станок для прецизионного шлифования плоских поверхностей деталей включает шлифовальную, головку 1, в которой расположен шпиндель 2 инструмента, закрепленный в корпусе шлифовальной головки 3, верхний упор 4 с регулировочными элементами, механизм подачи 5 шпинделя 2 вместе с закрепленным абразивным инструментом 6 не деталь 7. На верхнем упоре 4 установлены две пластины 8 и 9, между которыми расположен сепаратор с шариками 10. Подвижный столик 11 через шаровую опору 12 установлен на валу 13, который расположен свободно в гильзе 14, закрепленной на станине 15 станка. Вал 13 опирается на механизм 16, который регулирует величину силы, направленной по оси вала 13 к верхнему упору 4, для прижатия к нему планщайбы 17 пружиной 18 при включенном рычаге 19, который закреплен в станине 15. Столик И установлен на дополнительном упоре 20, имеющем две опоры качения 21 и 22, одна из которых (21) расположена между упором 20 и столиком И, а вторая (22) соединяет столик 11 с упором 20, при помощи основания 23, винтов 24 и амортизаторов 25. Упор 20 соединен со станиной 15 станка направляющими колонками 26 и установлен на пружинах 27, которые расположены между нижней частью упора 20 и станиной 15 станка. Столик 11 В рабочем положении ориентируется нижним упором 20, который по периферии сопряжен с плунжерным фиксатором 28, закрепленным с возможностью регулировочного перемещения на кронштейне 29. Плунжерный фиксатор 29 собран с натягом на опорах качения 30, удерживается в исходном положении рычагом 31 и подпружинен в направлении дополнительного упора 20 упругим элементом 32. Исходная регулировка станка заключается в установке контактной поверхности верхнего упора 4 и оси плунжерного фиксатора 28 перпендикулярно оси.вращения инструмента 6. Станок, работает следующим образом. Столик 11 совместно с упором 20 находится в крайнем нижнем положении под действием рычага 19. Планшайбу 17 с закрепленными на ней деталями 7 устанавливают на вращающийся столик 11 станины 15. Рычагом 19 освобождают пружины 18 и 27 подвижного вала 13 и упора 20, которые равномерно с заданным усилием прижимают планшайбу к базовой плоскости верхнего упора 4, ориентирующему планшайбу 17 с деталями 7 в заданной плоскости шлифования. Затем рычагом 31 освобождают плунжерный фиксатор 28, который под воздействием упругого элемента 32 входит, например, в конусное углубление, выполненное на периферии нижнего упора 20, и надежно фиксирует заданное положение вращающегося столика 11 с планшайбой 17 и деталями 7, сориентированное относительно контактной поверхности верхнего упьра 4. После включают привод инструмента 6, столика 11 и механизма подачи 5 и производят съем заданной величины пропуска. При включении привода стола происходит вращение столика 11 с планшайбой 17 и деталями 7 по опоре качения 21, нижний упор 20 остается неподвижный. При включении привода механизма подачи 5 происходит одновременное перемещение шпинделя 2 и инструмента 6 на деталь 7. Столик 1 свободно движется по опоре качения 21 в строго определенном направлении, определяемои исходной регулировкой контактной поверхности верхнего упора 4 и оси плунжерного фиксатора 28. При достижении заданной толщины детали механизм подачи 5 автоматически отводит абразивный режущий инструмент 6 в верхнее исходное положение. Рычагом 31 отводят плунжерный фиксатор 28 от нижнего упора 20, а рычагом 19 опускают столик 11 совместно с упором 20 в исходное положение. Вертикальное совместное перемещение столика 11 и упора 20 обеспечивается за счет основания 23, несущего опору качения 22, которая с постоянным натягом поджата а.мортизатором 25 к нижнему упору 20 и удерживается на винтах 24. В рабочем положении столик 11 поджат двумя упорами, верхНИМ 4 и дополнительным упором 20, который по периферии сопряжен с плунжерным фиксатором 28. Станок позволяет повысить надежность фиксации столика в рабочем положении, в результате чего точность обработки повышается. Формула изобретения 1.Станок для прецизионного шлифования плоских поверхностей деталей по авт. св. № 282089, отличающийся тем, что, с целью повышения точности обработки деталей за счет повыщения надежности фиксации подвижного столика в рабочем положении, станок снабжен дополнительным упором, на котором установлен подвижный столик, размещенным на станине станка плунжерным фиксатором, установленным с возможностью взаимодействия с дополнительным упором, при этом упомянутый упор снабжен двумя опорами качения, одна из которых размещена между ним и столиком, а посредством второй - нижний упор соединен со столиком с возможностью совместного осевого перемещения. 2.Станок по п. 1, отличающийся тем, что плунжерный фиксатор размещен с воз